微电子技术
微電子技術
미전자기술
MICRO ELECTRONIC TECHNOLOGY
2002年
5期
43-45,64
,共4页
承片台%平面电机%功放部件%封装
承片檯%平麵電機%功放部件%封裝
승편태%평면전궤%공방부건%봉장
在1034探针台中,驱动承片台在X-Y方向运动的平面电机功率放大部件是该设备的核心部件,其性能的好坏直接关系到探针台的性能.本文拟从简述平面电机的原理入手,对该功放部件的性能、测试方法和维修作一讨论.
在1034探針檯中,驅動承片檯在X-Y方嚮運動的平麵電機功率放大部件是該設備的覈心部件,其性能的好壞直接關繫到探針檯的性能.本文擬從簡述平麵電機的原理入手,對該功放部件的性能、測試方法和維脩作一討論.
재1034탐침태중,구동승편태재X-Y방향운동적평면전궤공솔방대부건시해설비적핵심부건,기성능적호배직접관계도탐침태적성능.본문의종간술평면전궤적원리입수,대해공방부건적성능、측시방법화유수작일토론.
