光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2007年
2期
212-218
,共7页
文伟力%左春柽%于建群%张学军%刘庆民%陈向伟%刘岩
文偉力%左春檉%于建群%張學軍%劉慶民%陳嚮偉%劉巖
문위력%좌춘정%우건군%장학군%류경민%진향위%류암
微流控芯片%微细加工%CCD图像检测%尺寸测量%图像处理%二次标定
微流控芯片%微細加工%CCD圖像檢測%呎吋測量%圖像處理%二次標定
미류공심편%미세가공%CCD도상검측%척촌측량%도상처리%이차표정
研究了一种基于光电耦合器件(CCD)及图像处理技术的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微流控芯片微通道几何尺寸的测量系统,论述了该系统的关键技术及其实现方法,包括图像的预处理、二值化、轮廓提取以及微通道尺寸的测量等.利用该系统测量的微通道几何尺寸(1～1 000 μm)与轮廓仪和万能工具显微镜的测量结果吻合很好,最大测量误差为2 μm(半深宽度),分析了测量误差产生的原因.检测实验结果表明:该检测方法提供的微通道几何尺寸评定正确可行、通用性好、应用简便,还可以避免轮廓仪在深结构测量中的误差.
研究瞭一種基于光電耦閤器件(CCD)及圖像處理技術的聚甲基丙烯痠甲酯(PMMA)微流控芯片微通道幾何呎吋的測量繫統,論述瞭該繫統的關鍵技術及其實現方法,包括圖像的預處理、二值化、輪廓提取以及微通道呎吋的測量等.利用該繫統測量的微通道幾何呎吋(1～1 000 μm)與輪廓儀和萬能工具顯微鏡的測量結果吻閤很好,最大測量誤差為2 μm(半深寬度),分析瞭測量誤差產生的原因.檢測實驗結果錶明:該檢測方法提供的微通道幾何呎吋評定正確可行、通用性好、應用簡便,還可以避免輪廓儀在深結構測量中的誤差.
연구료일충기우광전우합기건(CCD)급도상처리기술적취갑기병희산갑지(PMMA)미류공심편미통도궤하척촌적측량계통,논술료해계통적관건기술급기실현방법,포괄도상적예처리、이치화、륜곽제취이급미통도척촌적측량등.이용해계통측량적미통도궤하척촌(1～1 000 μm)여륜곽의화만능공구현미경적측량결과문합흔호,최대측량오차위2 μm(반심관도),분석료측량오차산생적원인.검측실험결과표명:해검측방법제공적미통도궤하척촌평정정학가행、통용성호、응용간편,환가이피면륜곽의재심결구측량중적오차.
