材料科学与工程学报
材料科學與工程學報
재료과학여공정학보
MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING
2008年
3期
479-484
,共6页
陶瓷薄膜%低温水溶液沉积%生长机理
陶瓷薄膜%低溫水溶液沉積%生長機理
도자박막%저온수용액침적%생장궤리
陶瓷薄膜的制备技术多种多样,如物理气相沉积、化学气相沉积、高温烧结和"溶胶-凝胶"法等.这些技术对制备条件都有较高的要求:如高温高真空等.近年发展起来的在低温条件下沉积陶瓷薄膜的技术为我们提供了一种设备简单,在接近室温、常压下可进行操作的方法.本文就这一新兴工艺及其机理进行了评述.
陶瓷薄膜的製備技術多種多樣,如物理氣相沉積、化學氣相沉積、高溫燒結和"溶膠-凝膠"法等.這些技術對製備條件都有較高的要求:如高溫高真空等.近年髮展起來的在低溫條件下沉積陶瓷薄膜的技術為我們提供瞭一種設備簡單,在接近室溫、常壓下可進行操作的方法.本文就這一新興工藝及其機理進行瞭評述.
도자박막적제비기술다충다양,여물리기상침적、화학기상침적、고온소결화"용효-응효"법등.저사기술대제비조건도유교고적요구:여고온고진공등.근년발전기래적재저온조건하침적도자박막적기술위아문제공료일충설비간단,재접근실온、상압하가진행조작적방법.본문취저일신흥공예급기궤리진행료평술.
