仪器仪表学报
儀器儀錶學報
의기의표학보
CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT
2010年
7期
1534-1540
,共7页
杜广涛%陈向东%林其斌%李辉%郭辉辉
杜廣濤%陳嚮東%林其斌%李輝%郭輝輝
두엄도%진향동%림기빈%리휘%곽휘휘
压阻效应%磁场传感器%铁磁体%MEMS%磁力
壓阻效應%磁場傳感器%鐵磁體%MEMS%磁力
압조효응%자장전감기%철자체%MEMS%자력
提出了一种新型的基于Si压阻效应的铁磁体MEMS磁场传感器结构,其结构由制作在硅桥敏感膜表面的惠斯通电桥和在膜中间旋涂环氧胶沾上铁磁体制成.铁磁体在外磁场中磁化产生磁力,磁力耦合到硅桥敏感膜上会产生应力使膜上的惠斯通电桥产生电压输出以达到测量磁场的目的.文章先通过有限元软件对铁磁体在磁场中的受力大小和磁场传感器在磁力下的输出进行了仿真,然后对该结构进行了测试,仿真结果和实验结果较接近.实验测得该传感器最大灵敏度为70 mV/T,分辨率为330 μT.该磁场传感器结构简单、工艺成熟、成本低,易于大批量生产.
提齣瞭一種新型的基于Si壓阻效應的鐵磁體MEMS磁場傳感器結構,其結構由製作在硅橋敏感膜錶麵的惠斯通電橋和在膜中間鏇塗環氧膠霑上鐵磁體製成.鐵磁體在外磁場中磁化產生磁力,磁力耦閤到硅橋敏感膜上會產生應力使膜上的惠斯通電橋產生電壓輸齣以達到測量磁場的目的.文章先通過有限元軟件對鐵磁體在磁場中的受力大小和磁場傳感器在磁力下的輸齣進行瞭倣真,然後對該結構進行瞭測試,倣真結果和實驗結果較接近.實驗測得該傳感器最大靈敏度為70 mV/T,分辨率為330 μT.該磁場傳感器結構簡單、工藝成熟、成本低,易于大批量生產.
제출료일충신형적기우Si압조효응적철자체MEMS자장전감기결구,기결구유제작재규교민감막표면적혜사통전교화재막중간선도배양효첨상철자체제성.철자체재외자장중자화산생자력,자력우합도규교민감막상회산생응력사막상적혜사통전교산생전압수출이체도측량자장적목적.문장선통과유한원연건대철자체재자장중적수력대소화자장전감기재자력하적수출진행료방진,연후대해결구진행료측시,방진결과화실험결과교접근.실험측득해전감기최대령민도위70 mV/T,분변솔위330 μT.해자장전감기결구간단、공예성숙、성본저,역우대비량생산.
