机械工程学报
機械工程學報
궤계공정학보
CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING
2011年
9期
187-192
,共6页
张金龙%刘阳%郭怡倩%刘京南%内田敬久
張金龍%劉暘%郭怡倩%劉京南%內田敬久
장금룡%류양%곽이천%류경남%내전경구
莫尔信号%纳米定位%神经网络%智能控制
莫爾信號%納米定位%神經網絡%智能控製
막이신호%납미정위%신경망락%지능공제
研制了一套基于激光莫尔信号的超精密定位工作台,定位台以微型计算机为核心,采用激光莫尔传感器检测位置偏差,通过光、机、电的有机结合,可实现纳米级超精密自动定位.定位装置采用串联型粗、微双驱动的精密定位系统,粗动台由步进电动机通过精密丝杠机构直接驱动,可实现大行程微米级定位,微动台由压电陶瓷驱动器驱动,可实现纳米级定位.针对系统存在非线性、时变性,经典PID控制无法达到理想控制效果的缺陷,提出基于BP神经网络的精密定位智能控制,可有效改善定位系统的动、静态性能,提高重复精度.试验结果表明,精密定位台的工作行程可达50mm,定位精度为±10nm,定位时间小于30s.
研製瞭一套基于激光莫爾信號的超精密定位工作檯,定位檯以微型計算機為覈心,採用激光莫爾傳感器檢測位置偏差,通過光、機、電的有機結閤,可實現納米級超精密自動定位.定位裝置採用串聯型粗、微雙驅動的精密定位繫統,粗動檯由步進電動機通過精密絲槓機構直接驅動,可實現大行程微米級定位,微動檯由壓電陶瓷驅動器驅動,可實現納米級定位.針對繫統存在非線性、時變性,經典PID控製無法達到理想控製效果的缺陷,提齣基于BP神經網絡的精密定位智能控製,可有效改善定位繫統的動、靜態性能,提高重複精度.試驗結果錶明,精密定位檯的工作行程可達50mm,定位精度為±10nm,定位時間小于30s.
연제료일투기우격광막이신호적초정밀정위공작태,정위태이미형계산궤위핵심,채용격광막이전감기검측위치편차,통과광、궤、전적유궤결합,가실현납미급초정밀자동정위.정위장치채용천련형조、미쌍구동적정밀정위계통,조동태유보진전동궤통과정밀사강궤구직접구동,가실현대행정미미급정위,미동태유압전도자구동기구동,가실현납미급정위.침대계통존재비선성、시변성,경전PID공제무법체도이상공제효과적결함,제출기우BP신경망락적정밀정위지능공제,가유효개선정위계통적동、정태성능,제고중복정도.시험결과표명,정밀정위태적공작행정가체50mm,정위정도위±10nm,정위시간소우30s.
