传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2011年
11期
69-71
,共3页
陈平%焦继伟%葛道晗%王跃林
陳平%焦繼偉%葛道晗%王躍林
진평%초계위%갈도함%왕약림
多孔硅%微机电系统%有机溶剂%快速腐蚀
多孔硅%微機電繫統%有機溶劑%快速腐蝕
다공규%미궤전계통%유궤용제%쾌속부식
近年来,多孔硅以其良好的光学、热学、电学以及机械特性使其在微传感器技术领域得到广泛的应用,电化学腐蚀多孔硅的各种方法与原理引起越来越多的关注.研究了P型硅的电化学腐蚀过程中,在腐蚀溶液中使用有机溶剂对多孔硅的制备、速率、成孔机理等方面的影响.研究发现,在分别使用有机溶剂二甲基甲酰胺(DMF)和二甲基亚砜(DMSO)的氢氟酸(HF)腐蚀溶液中,可以制备出孔壁光滑、具有高深宽比的高质量P型宏多孔硅,并发现了一种快速腐蚀P型宏多孔硅的方法,得到高达1900 μm/h的腐蚀速率,这有助于提高多孔硅在微传感器批量化生产应用中的效率.在涌流模型基础上,分析了有机溶剂的氧化性和质子(H)提供能力,以及在P型多孔硅快速腐蚀过程中的作用.
近年來,多孔硅以其良好的光學、熱學、電學以及機械特性使其在微傳感器技術領域得到廣汎的應用,電化學腐蝕多孔硅的各種方法與原理引起越來越多的關註.研究瞭P型硅的電化學腐蝕過程中,在腐蝕溶液中使用有機溶劑對多孔硅的製備、速率、成孔機理等方麵的影響.研究髮現,在分彆使用有機溶劑二甲基甲酰胺(DMF)和二甲基亞砜(DMSO)的氫氟痠(HF)腐蝕溶液中,可以製備齣孔壁光滑、具有高深寬比的高質量P型宏多孔硅,併髮現瞭一種快速腐蝕P型宏多孔硅的方法,得到高達1900 μm/h的腐蝕速率,這有助于提高多孔硅在微傳感器批量化生產應用中的效率.在湧流模型基礎上,分析瞭有機溶劑的氧化性和質子(H)提供能力,以及在P型多孔硅快速腐蝕過程中的作用.
근년래,다공규이기량호적광학、열학、전학이급궤계특성사기재미전감기기술영역득도엄범적응용,전화학부식다공규적각충방법여원리인기월래월다적관주.연구료P형규적전화학부식과정중,재부식용액중사용유궤용제대다공규적제비、속솔、성공궤리등방면적영향.연구발현,재분별사용유궤용제이갑기갑선알(DMF)화이갑기아풍(DMSO)적경불산(HF)부식용액중,가이제비출공벽광활、구유고심관비적고질량P형굉다공규,병발현료일충쾌속부식P형굉다공규적방법,득도고체1900 μm/h적부식속솔,저유조우제고다공규재미전감기비양화생산응용중적효솔.재용류모형기출상,분석료유궤용제적양화성화질자(H)제공능력,이급재P형다공규쾌속부식과정중적작용.
