半导体技术
半導體技術
반도체기술
SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
2004年
4期
21-24
,共4页
李文胜%江洪波%金成洛%利定东
李文勝%江洪波%金成洛%利定東
리문성%강홍파%금성락%리정동
缺陷%DRSEM%SEMVisionG2 FIB
缺陷%DRSEM%SEMVisionG2 FIB
결함%DRSEM%SEMVisionG2 FIB
简要介绍了当前半导体生产中对电子显微镜缺陷再检测(Defect Review SEM,DRSEM)系统的要求,以及应用材料公司针对这些要求推出的新一代DRSEM系统--SEMVisionG2 FIB的各种主要功能及其在半导体生产线上的应用.
簡要介紹瞭噹前半導體生產中對電子顯微鏡缺陷再檢測(Defect Review SEM,DRSEM)繫統的要求,以及應用材料公司針對這些要求推齣的新一代DRSEM繫統--SEMVisionG2 FIB的各種主要功能及其在半導體生產線上的應用.
간요개소료당전반도체생산중대전자현미경결함재검측(Defect Review SEM,DRSEM)계통적요구,이급응용재료공사침대저사요구추출적신일대DRSEM계통--SEMVisionG2 FIB적각충주요공능급기재반도체생산선상적응용.
