光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2004年
8期
1125-1129
,共5页
沈伟东%朱勇%黄弼勤%陈海星%刘旭%顾培夫
瀋偉東%硃勇%黃弼勤%陳海星%劉旭%顧培伕
침위동%주용%황필근%진해성%류욱%고배부
微光机电系统%可调谐滤波器%法布里-珀罗腔%反射相移%调谐特性
微光機電繫統%可調諧濾波器%法佈裏-珀囉腔%反射相移%調諧特性
미광궤전계통%가조해려파기%법포리-박라강%반사상이%조해특성
分析了基于法布里-珀罗腔的微光机电系统可调谐滤波器中,空气腔厚度与峰值波长间的关系.微光机电系统中,空气腔的厚度一般在一个波长附近,因此腔的干涉级数较小,两边反射镜的反射相位对峰值波长的影响比较大.从反射相位出发,推导出了基于这种结构的可调谐滤波器中空气腔厚度和谐振波长之间的线性关系,并通过数值计算进行了验证.分析了影响滤波器调谐灵敏度的因素,构成介质反射镜的薄膜材料的高低折射值以及薄膜堆的层数都能改变线性系数的值.最后估算了一定波长范围内这种线性关系的误差.
分析瞭基于法佈裏-珀囉腔的微光機電繫統可調諧濾波器中,空氣腔厚度與峰值波長間的關繫.微光機電繫統中,空氣腔的厚度一般在一箇波長附近,因此腔的榦涉級數較小,兩邊反射鏡的反射相位對峰值波長的影響比較大.從反射相位齣髮,推導齣瞭基于這種結構的可調諧濾波器中空氣腔厚度和諧振波長之間的線性關繫,併通過數值計算進行瞭驗證.分析瞭影響濾波器調諧靈敏度的因素,構成介質反射鏡的薄膜材料的高低摺射值以及薄膜堆的層數都能改變線性繫數的值.最後估算瞭一定波長範圍內這種線性關繫的誤差.
분석료기우법포리-박라강적미광궤전계통가조해려파기중,공기강후도여봉치파장간적관계.미광궤전계통중,공기강적후도일반재일개파장부근,인차강적간섭급수교소,량변반사경적반사상위대봉치파장적영향비교대.종반사상위출발,추도출료기우저충결구적가조해려파기중공기강후도화해진파장지간적선성관계,병통과수치계산진행료험증.분석료영향려파기조해령민도적인소,구성개질반사경적박막재료적고저절사치이급박막퇴적층수도능개변선성계수적치.최후고산료일정파장범위내저충선성관계적오차.
