重频XeF(C-A)蓝绿激光器中XeF2浓度的监测与控制
중빈XeF(C-A)람록격광기중XeF2농도적감측여공제
Control and measurement of XeF2 concentration in chamber of XeF(C-A) laser operating on repetition mode
  • 万方数据
    强激光与粒子束 강격광여입자속
    HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
    2006年 5期 785-788 ,共4页

    黄超%于力%马莲英%易爱平%安晓霞%李辉%陈广宇%刘晶儒

    황초%우력%마련영%역애평%안효하%리휘%진엄우%류정유

    浓度监控%光谱吸收%XeF(C-A)蓝绿激光器%XeF2 濃度鑑控%光譜吸收%XeF(C-A)藍綠激光器%XeF2
    농도감공%광보흡수%XeF(C-A)람록격광기%XeF2
    介绍了采用光谱吸收法实时监测重复频率XeF(C-A)蓝绿激光器中XeF2气体浓度的原理和控制XeF2气体浓度的方法;给出了监测窗中XeF2气体浓度与激光器气室中的XeF2气体浓度之间的关系,获得了在不同主/载气路气流量条件下激光器气室中XeF2气体浓度值,通过调节主/载气路的气流量实现了对激光器腔室内XeF2气体浓度的控制,保证了XeF(C-A)蓝绿激光器1 Hz重频运行.
    개소료채용광보흡수법실시감측중복빈솔XeF(C-A)람록격광기중XeF2기체농도적원리화공제XeF2기체농도적방법;급출료감측창중XeF2기체농도여격광기기실중적XeF2기체농도지간적관계,획득료재불동주/재기로기류량조건하격광기기실중XeF2기체농도치,통과조절주/재기로적기류량실현료대격광기강실내XeF2기체농도적공제,보증료XeF(C-A)람록격광기1 Hz중빈운행.
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