吉林工程技术师范学院学报
吉林工程技術師範學院學報
길림공정기술사범학원학보
JOURNAL OF JILIN TEACHERS INSTITUTE OF ENGINEERING AND TECHNOLOGY
2007年
9期
63-64
,共2页
半导体材料%传感器%应用
半導體材料%傳感器%應用
반도체재료%전감기%응용
Sio2薄膜是一种新型的、性能优良的半导体材料.本文主要介绍Sio2薄膜在各种传感器中的应用,并对该材料的发展趋势进行展望.
Sio2薄膜是一種新型的、性能優良的半導體材料.本文主要介紹Sio2薄膜在各種傳感器中的應用,併對該材料的髮展趨勢進行展望.
Sio2박막시일충신형적、성능우량적반도체재료.본문주요개소Sio2박막재각충전감기중적응용,병대해재료적발전추세진행전망.