粉末冶金技术
粉末冶金技術
분말야금기술
POWDER METALLURGY TECHNOLOGY
2009年
1期
52-57
,共6页
靶材%应用%制备技术
靶材%應用%製備技術
파재%응용%제비기술
近年来随着磁控溅射技术的应用日趋广泛,对各种高纯金属及合金溅射靶材的需求量也愈来愈大.本文简要介绍了当前W和W/Ti合金靶材的应用和制备方法等,对W和W/Ti合金靶材未来的制备技术进行了展望.
近年來隨著磁控濺射技術的應用日趨廣汎,對各種高純金屬及閤金濺射靶材的需求量也愈來愈大.本文簡要介紹瞭噹前W和W/Ti閤金靶材的應用和製備方法等,對W和W/Ti閤金靶材未來的製備技術進行瞭展望.
근년래수착자공천사기술적응용일추엄범,대각충고순금속급합금천사파재적수구량야유래유대.본문간요개소료당전W화W/Ti합금파재적응용화제비방법등,대W화W/Ti합금파재미래적제비기술진행료전망.
