光学与光电技术
光學與光電技術
광학여광전기술
OPTICS & OPTOELECTRONIC TECHNOLOGY
2010年
2期
46-49
,共4页
王刚%周晨波%王同乐%赵亚伟%郭冰
王剛%週晨波%王同樂%趙亞偉%郭冰
왕강%주신파%왕동악%조아위%곽빙
朗奇光栅%郎奇条纹%Zygo干涉仪%大口径非球面
朗奇光柵%郎奇條紋%Zygo榦涉儀%大口徑非毬麵
랑기광책%랑기조문%Zygo간섭의%대구경비구면
提出了一种用朗奇法定量检测大口径非球面的新技术.主要以大口径非球面镜的加工表面为研究对象,设计了大口径非球面检测系统,该系统由CCD摄像机、He-Ne激光器、郎奇光栅、微型计算机等组成.并利用大口径非球面检测系统对一个顶点曲率半径为1 638.69 mm,被测曲面半通光口径为315 mm的光学元件的面形进行了实际测量,给出了光学元件标准偏差和峰谷值测量结果.最后对测量结果进行了讨论.研究结果表明:基于郎奇法的几何原理,利用CCD摄像系统定量检测大口径非球面的方法具有较高的精度.
提齣瞭一種用朗奇法定量檢測大口徑非毬麵的新技術.主要以大口徑非毬麵鏡的加工錶麵為研究對象,設計瞭大口徑非毬麵檢測繫統,該繫統由CCD攝像機、He-Ne激光器、郎奇光柵、微型計算機等組成.併利用大口徑非毬麵檢測繫統對一箇頂點麯率半徑為1 638.69 mm,被測麯麵半通光口徑為315 mm的光學元件的麵形進行瞭實際測量,給齣瞭光學元件標準偏差和峰穀值測量結果.最後對測量結果進行瞭討論.研究結果錶明:基于郎奇法的幾何原理,利用CCD攝像繫統定量檢測大口徑非毬麵的方法具有較高的精度.
제출료일충용랑기법정량검측대구경비구면적신기술.주요이대구경비구면경적가공표면위연구대상,설계료대구경비구면검측계통,해계통유CCD섭상궤、He-Ne격광기、랑기광책、미형계산궤등조성.병이용대구경비구면검측계통대일개정점곡솔반경위1 638.69 mm,피측곡면반통광구경위315 mm적광학원건적면형진행료실제측량,급출료광학원건표준편차화봉곡치측량결과.최후대측량결과진행료토론.연구결과표명:기우랑기법적궤하원리,이용CCD섭상계통정량검측대구경비구면적방법구유교고적정도.
