氢等离子体处理对类金刚石膜场发射性能的影响
경등리자체처리대류금강석막장발사성능적영향
Effect of hydrogen plasma treatment on the field emission of diamond-like films deposited by high power excimer laser ablation
  • 万方数据
    新型炭材料 신형탄재료
    NEW CARBON MATERIALS
    2010年 4期 317-320 ,共4页

    赵立新%彭鸿雁%陈玉强%罗玉杰%陈宝玲%徐闰%黄健%王林军%夏义本%金曾孙

    조립신%팽홍안%진옥강%라옥걸%진보령%서윤%황건%왕림군%하의본%금증손

    类金刚石膜%氢等离子体处理%场发射 類金剛石膜%氫等離子體處理%場髮射
    류금강석막%경등리자체처리%장발사
    采用大功率、高重复频率、准分子激光溅射热解石墨靶制备了类金刚石膜,研究了直流辉光氢等离子体处理对类金刚石膜的场发射性能的影响.结果表明:氢等离子体处理后,类金刚石膜的场发射性能明显提高,其发射阈值电场由26 V/μm下降到19 V/μm.氢等离子体刻蚀除去了类金刚石膜生长表面的富含石墨的薄层,露出的新表面具有较低的功函数;膜表面的悬键被氢原子饱和,进一步降低了电子亲和势,改善了膜的场发射性能.
    채용대공솔、고중복빈솔、준분자격광천사열해석묵파제비료류금강석막,연구료직류휘광경등리자체처리대류금강석막적장발사성능적영향.결과표명:경등리자체처리후,류금강석막적장발사성능명현제고,기발사역치전장유26 V/μm하강도19 V/μm.경등리자체각식제거료류금강석막생장표면적부함석묵적박층,로출적신표면구유교저적공함수;막표면적현건피경원자포화,진일보강저료전자친화세,개선료막적장발사성능.
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