机械工程学报
機械工程學報
궤계공정학보
CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING
2011年
4期
1-6
,共6页
亚微米金属薄膜导线%尺寸效应%局域电导率%4电极AFM技术
亞微米金屬薄膜導線%呎吋效應%跼域電導率%4電極AFM技術
아미미금속박막도선%척촌효응%국역전도솔%4전겁AFM기술
作为薄膜器件最重要物理量之一的局域电导率的定量测定,能在保证性能、提高成品率、完善制作工艺等方面起关键作用.利用基于原子力显微镜(Atomic force microscope,AFM)的4电极微探针局域电导率测量技术,精确测量厚度为350nm、宽度分别为50.0 μm、25.0μm、5.0 μm、2.0μm及600 nm、纯度为99.999%的铝薄膜导线的电导率.由于被测试件宽度和厚度方向的尺寸明显缩小且十分接近电极的最小间距,综合考虑电极尺寸、不同批次电极的加工精度和加工参数、4个电极间的位置误差等几个影响测量精度的因素,修正电导率的计算模型并将传统4电极电导率测量法的应用领域拓展到亚微米级微观尺度.试验结果证明基于AFM的4电极微探针技术在亚微米级局域电导率测量方面的能力.
作為薄膜器件最重要物理量之一的跼域電導率的定量測定,能在保證性能、提高成品率、完善製作工藝等方麵起關鍵作用.利用基于原子力顯微鏡(Atomic force microscope,AFM)的4電極微探針跼域電導率測量技術,精確測量厚度為350nm、寬度分彆為50.0 μm、25.0μm、5.0 μm、2.0μm及600 nm、純度為99.999%的鋁薄膜導線的電導率.由于被測試件寬度和厚度方嚮的呎吋明顯縮小且十分接近電極的最小間距,綜閤攷慮電極呎吋、不同批次電極的加工精度和加工參數、4箇電極間的位置誤差等幾箇影響測量精度的因素,脩正電導率的計算模型併將傳統4電極電導率測量法的應用領域拓展到亞微米級微觀呎度.試驗結果證明基于AFM的4電極微探針技術在亞微米級跼域電導率測量方麵的能力.
작위박막기건최중요물리량지일적국역전도솔적정량측정,능재보증성능、제고성품솔、완선제작공예등방면기관건작용.이용기우원자력현미경(Atomic force microscope,AFM)적4전겁미탐침국역전도솔측량기술,정학측량후도위350nm、관도분별위50.0 μm、25.0μm、5.0 μm、2.0μm급600 nm、순도위99.999%적려박막도선적전도솔.유우피측시건관도화후도방향적척촌명현축소차십분접근전겁적최소간거,종합고필전겁척촌、불동비차전겁적가공정도화가공삼수、4개전겁간적위치오차등궤개영향측량정도적인소,수정전도솔적계산모형병장전통4전겁전도솔측량법적응용영역탁전도아미미급미관척도.시험결과증명기우AFM적4전겁미탐침기술재아미미급국역전도솔측량방면적능력.
