淮阴师范学院学报（自然科学版）
淮陰師範學院學報（自然科學版）
회음사범학원학보（자연과학판）
JOURNAL OF HUAIYIN TEACHERS COLLEGE (NATURAL SCIENCE EDITION)
2011年
1期
22-25
,共4页
掠入射X射线衍射%面内晶格参数%应变深度分布
掠入射X射線衍射%麵內晶格參數%應變深度分佈
략입사X사선연사%면내정격삼수%응변심도분포
采用掠入射X射线衍射技术研究了外延SrTiO3薄膜面内晶格应变随着深度的分布.研究发现不管是较薄的还是较厚的薄膜其面内晶格应变随深度的分布都不是连续变化的,而是可以分为三个区域,即表面区、应变驰豫区、界面区.
採用掠入射X射線衍射技術研究瞭外延SrTiO3薄膜麵內晶格應變隨著深度的分佈.研究髮現不管是較薄的還是較厚的薄膜其麵內晶格應變隨深度的分佈都不是連續變化的,而是可以分為三箇區域,即錶麵區、應變馳豫區、界麵區.
채용략입사X사선연사기술연구료외연SrTiO3박막면내정격응변수착심도적분포.연구발현불관시교박적환시교후적박막기면내정격응변수심도적분포도불시련속변화적,이시가이분위삼개구역,즉표면구、응변치예구、계면구.
