光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2005年
1期
65-72
,共8页
刘建芳%杨志刚%范尊强%程光明
劉建芳%楊誌剛%範尊彊%程光明
류건방%양지강%범존강%정광명
压电陶瓷驱动器%定子主动箝位%精密驱动器%双薄壁柔性铰链%大行程
壓電陶瓷驅動器%定子主動箝位%精密驅動器%雙薄壁柔性鉸鏈%大行程
압전도자구동기%정자주동겸위%정밀구동기%쌍박벽유성교련%대행정
提出一种新型的压电直线精密步进驱动器.该驱动器采用仿生运动的原理,以定子主动箝位的方式和双侧薄壁铰链微变形结构,解决了以往压电精密驱动器箝位不牢固、步进频率较低、行程小、分辨率低、速度低、驱动力不稳定等问题.研制的精密直线驱动器能够实现高频率100 Hz,高速度30 mm/min,大行程>10 mm,高分辨率0.05 μm,大驱动力100 N等特点,大幅度提高了压电型步进驱动器的驱动性能.
提齣一種新型的壓電直線精密步進驅動器.該驅動器採用倣生運動的原理,以定子主動箝位的方式和雙側薄壁鉸鏈微變形結構,解決瞭以往壓電精密驅動器箝位不牢固、步進頻率較低、行程小、分辨率低、速度低、驅動力不穩定等問題.研製的精密直線驅動器能夠實現高頻率100 Hz,高速度30 mm/min,大行程>10 mm,高分辨率0.05 μm,大驅動力100 N等特點,大幅度提高瞭壓電型步進驅動器的驅動性能.
제출일충신형적압전직선정밀보진구동기.해구동기채용방생운동적원리,이정자주동겸위적방식화쌍측박벽교련미변형결구,해결료이왕압전정밀구동기겸위불뢰고、보진빈솔교저、행정소、분변솔저、속도저、구동력불은정등문제.연제적정밀직선구동기능구실현고빈솔100 Hz,고속도30 mm/min,대행정>10 mm,고분변솔0.05 μm,대구동력100 N등특점,대폭도제고료압전형보진구동기적구동성능.
