基于InP/空气隙分布布拉格反射镜的微机械可调谐光滤波器
기우InP/공기극분포포랍격반사경적미궤계가조해광려파기
Micromachined Tunable Filter Based on InP/Air-gap Distributed Bragg Reflectors
  • 万方数据
    半导体光电 반도체광전
    SEMICONDUCTOR OPTOELECTRONICS
    2006年 5期 543-546 ,共4页

    侯识华%孙捷%毛容伟%吴旭明%马骁宇%谭满清%陈良惠

    후식화%손첩%모용위%오욱명%마효우%담만청%진량혜

    可调谐滤波器%InP/空气隙%分布布拉格反射镜%Fabry-Perot%表面微机械技术 可調諧濾波器%InP/空氣隙%分佈佈拉格反射鏡%Fabry-Perot%錶麵微機械技術
    가조해려파기%InP/공기극%분포포랍격반사경%Fabry-Perot%표면미궤계기술
    采用表面微机械技术制作了一种1 310 nm基于InP/空气隙分布布拉格反射镜的微机械可调谐Fabry-Perot光滤波器.该滤波器的通光孔直径约为70 μm,在1.4 V的调谐电压下,调谐范围达到15 nm.并采用光学传输矩阵方法,分析了斜入射对这种可调谐光滤波器透射谱的峰值半高宽的影响.
    채용표면미궤계기술제작료일충1 310 nm기우InP/공기극분포포랍격반사경적미궤계가조해Fabry-Perot광려파기.해려파기적통광공직경약위70 μm,재1.4 V적조해전압하,조해범위체도15 nm.병채용광학전수구진방법,분석료사입사대저충가조해광려파기투사보적봉치반고관적영향.
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