紫外激光荧光显微成像技术在光学薄膜损伤测试中的应用
자외격광형광현미성상기술재광학박막손상측시중적응용
Application of UV Laser Induced Fluorescence Microscopy to Test for Laser Damage of Optical Film
  • 万方数据
    原子能科学技术 원자능과학기술
    ATOMIC ENERGY SCIENCE AND TECHNOLOGY
    2008年 2期 140-143 ,共4页

    高智星%汤秀章

    고지성%탕수장

    KrF激光%光学薄膜%荧光%激光损伤 KrF激光%光學薄膜%熒光%激光損傷
    KrF격광%광학박막%형광%격광손상
    光致荧光显微成像是观测电介质材料超微结构缺陷的有效手段.本工作研究利用KrF激光器照射光学器件表面激发的荧光成像探测光学元件薄膜激光损伤.建立了KrF激光的光致荧光成像系统,并用以进行了紫外光学镀膜损伤的现场测试.测试结果与采用Normaski显微镜的测试结果一致.
    광치형광현미성상시관측전개질재료초미결구결함적유효수단.본공작연구이용KrF격광기조사광학기건표면격발적형광성상탐측광학원건박막격광손상.건립료KrF격광적광치형광성상계통,병용이진행료자외광학도막손상적현장측시.측시결과여채용Normaski현미경적측시결과일치.
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