人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2009年
1期
152-158
,共7页
周丽%黄树涛%许立福%焦可如
週麗%黃樹濤%許立福%焦可如
주려%황수도%허립복%초가여
金刚石膜%抛光%温度场%热-力耦合
金剛石膜%拋光%溫度場%熱-力耦閤
금강석막%포광%온도장%열-력우합
金刚石膜超高速抛光是一种新的抛光方法,抛光区域温度场分布直接影响金刚石膜的抛光质量.本文采用三维热-力耦合有限元法分析了抛光盘超高速旋转时,不同直径的金刚石厚膜与抛光盘之间由于摩擦生热形成的温度场.结果表明:随着金刚石膜直径的增大,其内、外边缘温度差明显增大.只有当金刚石膜与抛光盘作同向相对运动时,金刚石膜的内、外边缘温度才趋于均匀.文中得出的结论可以为金刚石膜超高速抛光机的设计和实际操作提供可靠的理论依据.
金剛石膜超高速拋光是一種新的拋光方法,拋光區域溫度場分佈直接影響金剛石膜的拋光質量.本文採用三維熱-力耦閤有限元法分析瞭拋光盤超高速鏇轉時,不同直徑的金剛石厚膜與拋光盤之間由于摩抆生熱形成的溫度場.結果錶明:隨著金剛石膜直徑的增大,其內、外邊緣溫度差明顯增大.隻有噹金剛石膜與拋光盤作同嚮相對運動時,金剛石膜的內、外邊緣溫度纔趨于均勻.文中得齣的結論可以為金剛石膜超高速拋光機的設計和實際操作提供可靠的理論依據.
금강석막초고속포광시일충신적포광방법,포광구역온도장분포직접영향금강석막적포광질량.본문채용삼유열-력우합유한원법분석료포광반초고속선전시,불동직경적금강석후막여포광반지간유우마찰생열형성적온도장.결과표명:수착금강석막직경적증대,기내、외변연온도차명현증대.지유당금강석막여포광반작동향상대운동시,금강석막적내、외변연온도재추우균균.문중득출적결론가이위금강석막초고속포광궤적설계화실제조작제공가고적이론의거.
