微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2011年
6期
391-394
,共4页
微电子机械系统(MEMS)%陀螺%品质因数%数字采集卡%LabVIEW
微電子機械繫統(MEMS)%陀螺%品質因數%數字採集卡%LabVIEW
미전자궤계계통(MEMS)%타라%품질인수%수자채집잡%LabVIEW
传统的微机械陀螺采用扫频方法测试结构的品质因数,存在耗时长、测量效率低和精度差等问题.提出了一种新的品质因数测量方法,该方法的原理是通过对陀螺的驱动端施加一个激励脉冲,采集驱动检测端的相应衰减信号,并通过处理得到衰减信号的频率和斜率,从而检测陀螺的品质因数.采用自行设计的激励电路,外购NI公司的高速采集卡和基于LabVIEW的处理程序测试了陀螺的品质因数.采用该方法可以使一只微机械陀螺的品质因数测试时间从原来的3～5 min减少到20 s左右,极大地提高了测试效率和测试精度.通过对不同品质因数的陀螺样品的测量,充分验证了此种方法的效果和正确性.
傳統的微機械陀螺採用掃頻方法測試結構的品質因數,存在耗時長、測量效率低和精度差等問題.提齣瞭一種新的品質因數測量方法,該方法的原理是通過對陀螺的驅動耑施加一箇激勵脈遲,採集驅動檢測耑的相應衰減信號,併通過處理得到衰減信號的頻率和斜率,從而檢測陀螺的品質因數.採用自行設計的激勵電路,外購NI公司的高速採集卡和基于LabVIEW的處理程序測試瞭陀螺的品質因數.採用該方法可以使一隻微機械陀螺的品質因數測試時間從原來的3～5 min減少到20 s左右,極大地提高瞭測試效率和測試精度.通過對不同品質因數的陀螺樣品的測量,充分驗證瞭此種方法的效果和正確性.
전통적미궤계타라채용소빈방법측시결구적품질인수,존재모시장、측량효솔저화정도차등문제.제출료일충신적품질인수측량방법,해방법적원리시통과대타라적구동단시가일개격려맥충,채집구동검측단적상응쇠감신호,병통과처리득도쇠감신호적빈솔화사솔,종이검측타라적품질인수.채용자행설계적격려전로,외구NI공사적고속채집잡화기우LabVIEW적처리정서측시료타라적품질인수.채용해방법가이사일지미궤계타라적품질인수측시시간종원래적3～5 min감소도20 s좌우,겁대지제고료측시효솔화측시정도.통과대불동품질인수적타라양품적측량,충분험증료차충방법적효과화정학성.
