真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2011年
6期
661-665
,共5页
丁明清%陈长青%白国栋%李含雁%冯进军%胡银富
丁明清%陳長青%白國棟%李含雁%馮進軍%鬍銀富
정명청%진장청%백국동%리함안%풍진군%호은부
微波等离子体%化学气相沉积%无支撑金刚石膜%光学透过率
微波等離子體%化學氣相沉積%無支撐金剛石膜%光學透過率
미파등리자체%화학기상침적%무지탱금강석막%광학투과솔
利用引进的6kW微波等离子体化学气相沉积设备,进行了无支撑金刚石膜工艺的初步研究.在800～I050℃的基片温度范围内,金刚石膜都呈(111)择优取向；基片相对位置对沉积较大面积、光学级金刚石膜至关重要.制出0.25mm厚φ50mm的无支撑金刚石膜.拉曼光谱和X射线衍射分析表明,合成的金刚石膜晶体结构完整,sp2含量极低；透过率测试结果说明了优良的光学性能:截止波长225nm,光学透过率(λ≥2.5 μm)≥70％.
利用引進的6kW微波等離子體化學氣相沉積設備,進行瞭無支撐金剛石膜工藝的初步研究.在800～I050℃的基片溫度範圍內,金剛石膜都呈(111)擇優取嚮；基片相對位置對沉積較大麵積、光學級金剛石膜至關重要.製齣0.25mm厚φ50mm的無支撐金剛石膜.拉曼光譜和X射線衍射分析錶明,閤成的金剛石膜晶體結構完整,sp2含量極低；透過率測試結果說明瞭優良的光學性能:截止波長225nm,光學透過率(λ≥2.5 μm)≥70％.
이용인진적6kW미파등리자체화학기상침적설비,진행료무지탱금강석막공예적초보연구.재800～I050℃적기편온도범위내,금강석막도정(111)택우취향；기편상대위치대침적교대면적、광학급금강석막지관중요.제출0.25mm후φ50mm적무지탱금강석막.랍만광보화X사선연사분석표명,합성적금강석막정체결구완정,sp2함량겁저；투과솔측시결과설명료우량적광학성능:절지파장225nm,광학투과솔(λ≥2.5 μm)≥70％.
