大功率底发射VCSEL出光窗口增透膜的研究
대공솔저발사VCSEL출광창구증투막적연구
Antireflection Coatings of High Power Bottom Emitting VCSEL
  • 万方数据
    半导体光电 반도체광전
    SEMICONDUCTOR OPTOELECTRONICS
    2004年 6期 445-447 ,共3页

    套格套%初国强%宁永强%秦莉%孙艳芳%金珍花%晏长岭%刘云%王立军

    투격투%초국강%저영강%진리%손염방%금진화%안장령%류운%왕립군

    大功率底发射VCSEL%增透膜%等离子体辅助电子束蒸发%功率转换效率 大功率底髮射VCSEL%增透膜%等離子體輔助電子束蒸髮%功率轉換效率
    대공솔저발사VCSEL%증투막%등리자체보조전자속증발%공솔전환효솔
    在大功率垂直腔面发射激光器(VCSEL)出光窗口镀制了HfO2增透膜,其透过率达到99.9%.对镀膜材料以及透过率方面进行了比较,介绍了增透膜的制作过程.镀膜后直径为600μm的底发射VCSEL获得了室温连续输出功率为1.63 W,功率转换效率提高了6%.
    재대공솔수직강면발사격광기(VCSEL)출광창구도제료HfO2증투막,기투과솔체도99.9%.대도막재료이급투과솔방면진행료비교,개소료증투막적제작과정.도막후직경위600μm적저발사VCSEL획득료실온련속수출공솔위1.63 W,공솔전환효솔제고료6%.
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