河北省科学院学报
河北省科學院學報
하북성과학원학보
JOURNAL OF THE HEBEI ACADEMY OF SCIENCES
2005年
1期
40-41
,共2页
崔文秀%张瑞芹%张平伟%蔡云虹
崔文秀%張瑞芹%張平偉%蔡雲虹
최문수%장서근%장평위%채운홍
石墨衬底%晶体取向%热导率%断裂强度
石墨襯底%晶體取嚮%熱導率%斷裂彊度
석묵츤저%정체취향%열도솔%단렬강도
石墨衬底上可以沉积出晶体取向性较强的(220)织构的金刚石膜,这种金刚石膜的热导率高、断裂强度大;石墨衬底上沉积金刚石形核致密、速度快;石墨上沉积的金刚石膜纹理缺陷少.对石墨衬底的这些优势做了比较详尽的分析.
石墨襯底上可以沉積齣晶體取嚮性較彊的(220)織構的金剛石膜,這種金剛石膜的熱導率高、斷裂彊度大;石墨襯底上沉積金剛石形覈緻密、速度快;石墨上沉積的金剛石膜紋理缺陷少.對石墨襯底的這些優勢做瞭比較詳儘的分析.
석묵츤저상가이침적출정체취향성교강적(220)직구적금강석막,저충금강석막적열도솔고、단렬강도대;석묵츤저상침적금강석형핵치밀、속도쾌;석묵상침적적금강석막문리결함소.대석묵츤저적저사우세주료비교상진적분석.
