光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2007年
11期
1712-1720
,共9页
吴国俊%闫亚东%仓玉萍%吴玲玲%陈良益
吳國俊%閆亞東%倉玉萍%吳玲玲%陳良益
오국준%염아동%창옥평%오령령%진량익
激光准直%接收物镜%光线追迹%平行偏差(平偏)%倾斜偏差(角偏)
激光準直%接收物鏡%光線追跡%平行偏差(平偏)%傾斜偏差(角偏)
격광준직%접수물경%광선추적%평행편차(평편)%경사편차(각편)
为了实现在同轴度测量中平行偏差(平偏)和倾斜偏差(角偏)两个量的同时测量,建立了基于激光准直性的光斑接收系统.该系统由接收物镜、分光棱镜和CCD构成.以物镜光轴、准直光束几何中心线和两个CCD接收面构成的三角关系进行两个偏差量的计算;并通过对系统像差的分析,提出了显著降低物镜像差对测量结果影响的算法.理论和实验数据表明,对于平偏测量范围为±10 mm、角偏测量范围为±2°、接收物镜焦距为50 mm、CCD尺寸为1.6 cm的系统,平偏测量精度可达0.02 mm,角偏测量精度可达9.5″.因此,该系统可以满足较大范围内的旋转机械同轴度测量的需要.
為瞭實現在同軸度測量中平行偏差(平偏)和傾斜偏差(角偏)兩箇量的同時測量,建立瞭基于激光準直性的光斑接收繫統.該繫統由接收物鏡、分光稜鏡和CCD構成.以物鏡光軸、準直光束幾何中心線和兩箇CCD接收麵構成的三角關繫進行兩箇偏差量的計算;併通過對繫統像差的分析,提齣瞭顯著降低物鏡像差對測量結果影響的算法.理論和實驗數據錶明,對于平偏測量範圍為±10 mm、角偏測量範圍為±2°、接收物鏡焦距為50 mm、CCD呎吋為1.6 cm的繫統,平偏測量精度可達0.02 mm,角偏測量精度可達9.5″.因此,該繫統可以滿足較大範圍內的鏇轉機械同軸度測量的需要.
위료실현재동축도측량중평행편차(평편)화경사편차(각편)량개량적동시측량,건립료기우격광준직성적광반접수계통.해계통유접수물경、분광릉경화CCD구성.이물경광축、준직광속궤하중심선화량개CCD접수면구성적삼각관계진행량개편차량적계산;병통과대계통상차적분석,제출료현저강저물경상차대측량결과영향적산법.이론화실험수거표명,대우평편측량범위위±10 mm、각편측량범위위±2°、접수물경초거위50 mm、CCD척촌위1.6 cm적계통,평편측량정도가체0.02 mm,각편측량정도가체9.5″.인차,해계통가이만족교대범위내적선전궤계동축도측량적수요.
