金属学报
金屬學報
금속학보
ACTA METALLURGICA SINICA
2009年
6期
663-672
,共10页
张炳森%李茂林%王晶晶%孙本哲%祁阳
張炳森%李茂林%王晶晶%孫本哲%祁暘
장병삼%리무림%왕정정%손본철%기양
Bi2Sr2CaCu2O(8+δ)薄膜%分子束外延%衬底温度%臭氧分压%生长速率%错配度
Bi2Sr2CaCu2O(8+δ)薄膜%分子束外延%襯底溫度%臭氧分壓%生長速率%錯配度
Bi2Sr2CaCu2O(8+δ)박막%분자속외연%츤저온도%취양분압%생장속솔%착배도
在BiO-(Sr+Ca)O-CuO相图上的Bi2Sr2CaCu2O8+6(Bi-2212)相附近选择不同成分,用分子束外延法制备成薄膜,利用XRD,EDS,SEM和AFM研究了成分,衬底温度和臭氧分压对Bi-2212相薄膜成相的影响,分析了生长速率和错配度对Bi-2212相薄膜质量的影响.结果表明,Bi-2212相薄膜单相生成的成分范围(原子分数)分别为Bi 26.3%-32.4%,(Sr+Ca) 37.4%-146.5%,Cu 24.8%-32.6%;当衬底温度为720℃且臭氧分压为1.3×10-3 Pa时,在MgO(100)衬底上生长出质量较高的c轴外延Bi-2212相薄膜;通过调整生长速率、更换衬底和插入不同厚度的Bi2Sr2CuO(6+δ)过渡层的方法,可以改善Bi-2212相薄膜的结晶质量.表面形貌和导电特性.
在BiO-(Sr+Ca)O-CuO相圖上的Bi2Sr2CaCu2O8+6(Bi-2212)相附近選擇不同成分,用分子束外延法製備成薄膜,利用XRD,EDS,SEM和AFM研究瞭成分,襯底溫度和臭氧分壓對Bi-2212相薄膜成相的影響,分析瞭生長速率和錯配度對Bi-2212相薄膜質量的影響.結果錶明,Bi-2212相薄膜單相生成的成分範圍(原子分數)分彆為Bi 26.3%-32.4%,(Sr+Ca) 37.4%-146.5%,Cu 24.8%-32.6%;噹襯底溫度為720℃且臭氧分壓為1.3×10-3 Pa時,在MgO(100)襯底上生長齣質量較高的c軸外延Bi-2212相薄膜;通過調整生長速率、更換襯底和插入不同厚度的Bi2Sr2CuO(6+δ)過渡層的方法,可以改善Bi-2212相薄膜的結晶質量.錶麵形貌和導電特性.
재BiO-(Sr+Ca)O-CuO상도상적Bi2Sr2CaCu2O8+6(Bi-2212)상부근선택불동성분,용분자속외연법제비성박막,이용XRD,EDS,SEM화AFM연구료성분,츤저온도화취양분압대Bi-2212상박막성상적영향,분석료생장속솔화착배도대Bi-2212상박막질량적영향.결과표명,Bi-2212상박막단상생성적성분범위(원자분수)분별위Bi 26.3%-32.4%,(Sr+Ca) 37.4%-146.5%,Cu 24.8%-32.6%;당츤저온도위720℃차취양분압위1.3×10-3 Pa시,재MgO(100)츤저상생장출질량교고적c축외연Bi-2212상박막;통과조정생장속솔、경환츤저화삽입불동후도적Bi2Sr2CuO(6+δ)과도층적방법,가이개선Bi-2212상박막적결정질량.표면형모화도전특성.
