真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2009年
5期
474-478
,共5页
惠迎雪%樊慧庆%弥谦%孙国斌%王稳奇
惠迎雪%樊慧慶%瀰謙%孫國斌%王穩奇
혜영설%번혜경%미겸%손국빈%왕은기
磁控溅射%磁场分布%等离子体%非平衡磁控溅射
磁控濺射%磁場分佈%等離子體%非平衡磁控濺射
자공천사%자장분포%등리자체%비평형자공천사
本文设计了一种新型圆形平面阴极磁控溅射源.该源具有独特的三极线圈结构,改变各线圈励磁电流可调节靶面磁场强度的大小和分布.通过对系统气体放电伏安特性随各线圈励磁电流大小变化规律的分析,以及对距靶面60mm基片台处等离子体束流密度大小和分布的测试,探讨了阴极磁场分布对磁控溅射系统伏安特性的影响.实验结果表明阴极磁场分布模式对气体放电稳定性和等离子体分布影响显著,当阴极磁场呈现收敛型分布时,二次电子被紧密束缚在靶面附近,降低了基片台附近等离子体束流密度,却增大等离子体束流径向分布均匀性.调节非平衡线圈励磁电流,在附加磁场的作用下,阴极磁场呈现发散型分布,二次电子被引向基片台附近,使得基片台附近等离子体束流密度显著增加但径向均匀性变差.
本文設計瞭一種新型圓形平麵陰極磁控濺射源.該源具有獨特的三極線圈結構,改變各線圈勵磁電流可調節靶麵磁場彊度的大小和分佈.通過對繫統氣體放電伏安特性隨各線圈勵磁電流大小變化規律的分析,以及對距靶麵60mm基片檯處等離子體束流密度大小和分佈的測試,探討瞭陰極磁場分佈對磁控濺射繫統伏安特性的影響.實驗結果錶明陰極磁場分佈模式對氣體放電穩定性和等離子體分佈影響顯著,噹陰極磁場呈現收斂型分佈時,二次電子被緊密束縳在靶麵附近,降低瞭基片檯附近等離子體束流密度,卻增大等離子體束流徑嚮分佈均勻性.調節非平衡線圈勵磁電流,在附加磁場的作用下,陰極磁場呈現髮散型分佈,二次電子被引嚮基片檯附近,使得基片檯附近等離子體束流密度顯著增加但徑嚮均勻性變差.
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