化学气相输运法制备ZnO晶体
화학기상수운법제비ZnO정체
Synthesis of ZnO Crystals by Chemical Vapor Transport Process
  • 万方数据
    人工晶体学报 인공정체학보

    2010年 5期 1261-1264 ,共4页

    韦志仁%武明晓%郭树青%高平%尹利君%黄存新%张金平%张晓军%董国义

    위지인%무명효%곽수청%고평%윤리군%황존신%장금평%장효군%동국의

    ZnO晶体%化学气相输运%摇摆曲线 ZnO晶體%化學氣相輸運%搖襬麯線
    ZnO정체%화학기상수운%요파곡선
    采用化学气相输运法在常压开放系统中,以ZnO粉体为原料,HCl和NH3为输运气体,O2和H2O为反应气体,适度过量的HCl作为刻蚀性气体,在(0001)方向的蓝宝石籽晶片上制备了(0002)方向定向生长的ZnO晶体,且a、b轴生长速度明显高于c轴方向.以(0002)方向的ZnO籽晶片作基片,制备了ZnO单晶厚膜,晶体呈螺旋状外延生长,正极面的单晶摇摆曲线半高宽为543.6弧秒.
    채용화학기상수운법재상압개방계통중,이ZnO분체위원료,HCl화NH3위수운기체,O2화H2O위반응기체,괄도과량적HCl작위각식성기체,재(0001)방향적람보석자정편상제비료(0002)방향정향생장적ZnO정체,차a、b축생장속도명현고우c축방향.이(0002)방향적ZnO자정편작기편,제비료ZnO단정후막,정체정라선상외연생장,정겁면적단정요파곡선반고관위543.6호초.
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