人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2011年
4期
876-881
,共6页
于盛旺%黑鸿君%胡浩林%范朋伟%张思凯%唐伟忠%吕反修
于盛旺%黑鴻君%鬍浩林%範朋偉%張思凱%唐偉忠%呂反脩
우성왕%흑홍군%호호림%범붕위%장사개%당위충%려반수
SiC涂层%硬质合金%沉积压力%金刚石涂层
SiC塗層%硬質閤金%沉積壓力%金剛石塗層
SiC도층%경질합금%침적압력%금강석도층
以氢气和四甲基硅烷作为先驱气体,采用微波等离子体化学气相沉积法,不同沉积压力条件下、在YG6硬质合金表面制备了的SiC涂层.利用SEM、EDS、XRD、划痕测试法对SiC涂层的表面形貌、相组成和附着力进行了分析.实验结果表明,在较低的压力下,SiC涂层为胞状的纳米团聚物,且胞团的尺度随压力的升高而变小；随着压力的升高,胞状SiC开始并最终全部转变为片层状SiC,并在此过程中伴随着颗粒状Co2Si的形成与长大；随着压力的继续升高,片层状SiC开始转变为须状SiC.胞状SiC向片层状SiC的转变会使涂层致密度提高,而涂层对硬质合金衬底的附着力也会随之增强；Co催化作用的上升引起的片层状SiC向须状SiC的转变会导致SiC涂层的附着力明显降低.以具有片层状特征的SiC作为过渡层,可在未经去Co酸蚀预处理的硬质合金衬底上制备出具有较好附着力的金刚石涂层.
以氫氣和四甲基硅烷作為先驅氣體,採用微波等離子體化學氣相沉積法,不同沉積壓力條件下、在YG6硬質閤金錶麵製備瞭的SiC塗層.利用SEM、EDS、XRD、劃痕測試法對SiC塗層的錶麵形貌、相組成和附著力進行瞭分析.實驗結果錶明,在較低的壓力下,SiC塗層為胞狀的納米糰聚物,且胞糰的呎度隨壓力的升高而變小；隨著壓力的升高,胞狀SiC開始併最終全部轉變為片層狀SiC,併在此過程中伴隨著顆粒狀Co2Si的形成與長大；隨著壓力的繼續升高,片層狀SiC開始轉變為鬚狀SiC.胞狀SiC嚮片層狀SiC的轉變會使塗層緻密度提高,而塗層對硬質閤金襯底的附著力也會隨之增彊；Co催化作用的上升引起的片層狀SiC嚮鬚狀SiC的轉變會導緻SiC塗層的附著力明顯降低.以具有片層狀特徵的SiC作為過渡層,可在未經去Co痠蝕預處理的硬質閤金襯底上製備齣具有較好附著力的金剛石塗層.
이경기화사갑기규완작위선구기체,채용미파등리자체화학기상침적법,불동침적압력조건하、재YG6경질합금표면제비료적SiC도층.이용SEM、EDS、XRD、화흔측시법대SiC도층적표면형모、상조성화부착력진행료분석.실험결과표명,재교저적압력하,SiC도층위포상적납미단취물,차포단적척도수압력적승고이변소；수착압력적승고,포상SiC개시병최종전부전변위편층상SiC,병재차과정중반수착과립상Co2Si적형성여장대；수착압력적계속승고,편층상SiC개시전변위수상SiC.포상SiC향편층상SiC적전변회사도층치밀도제고,이도층대경질합금츤저적부착력야회수지증강；Co최화작용적상승인기적편층상SiC향수상SiC적전변회도치SiC도층적부착력명현강저.이구유편층상특정적SiC작위과도층,가재미경거Co산식예처리적경질합금츤저상제비출구유교호부착력적금강석도층.
