中国有色金属学报
中國有色金屬學報
중국유색금속학보
THE CHINESE JOURNAL OF NONFERROUS METALS
2012年
4期
1119-1125
,共7页
赵联波%刘芳洋%邹忠%张治安%欧阳紫靛%赖延清%李劼%刘业翔
趙聯波%劉芳洋%鄒忠%張治安%歐暘紫靛%賴延清%李劼%劉業翔
조련파%류방양%추충%장치안%구양자전%뢰연청%리할%류업상
ZnO:Al薄膜%磁控溅射%Zn靶功率%衬底温度%光电性能
ZnO:Al薄膜%磁控濺射%Zn靶功率%襯底溫度%光電性能
ZnO:Al박막%자공천사%Zn파공솔%츤저온도%광전성능
采用Zn靶和ZnO(掺2％ Al2O3(质量分数))陶瓷靶在玻璃衬底上共溅射沉积Al掺杂ZnO薄膜,即ZnO:Al透明导电薄膜,研究Zn靶溅射功率(0～90 W)和衬底温度(室温、100℃和200℃)对薄膜结构、形貌、光学和电学性能的影响.结果表明:按双靶共溅射工艺制备的ZnO:Al薄膜的晶体结构均为六角纤锌矿结构,且随着Zn靶溅射功率的增加,薄膜的结晶质量呈现出先改善后变差的规律,薄膜中的载流子浓度逐渐升高,电阻率逐渐降低,而薄膜的光学性能受其影响不大:随着衬底温度的升高,薄膜的结晶性能得到改善,薄膜的可见光透过率增强,电阻率降低.
採用Zn靶和ZnO(摻2％ Al2O3(質量分數))陶瓷靶在玻璃襯底上共濺射沉積Al摻雜ZnO薄膜,即ZnO:Al透明導電薄膜,研究Zn靶濺射功率(0～90 W)和襯底溫度(室溫、100℃和200℃)對薄膜結構、形貌、光學和電學性能的影響.結果錶明:按雙靶共濺射工藝製備的ZnO:Al薄膜的晶體結構均為六角纖鋅礦結構,且隨著Zn靶濺射功率的增加,薄膜的結晶質量呈現齣先改善後變差的規律,薄膜中的載流子濃度逐漸升高,電阻率逐漸降低,而薄膜的光學性能受其影響不大:隨著襯底溫度的升高,薄膜的結晶性能得到改善,薄膜的可見光透過率增彊,電阻率降低.
채용Zn파화ZnO(참2％ Al2O3(질량분수))도자파재파리츤저상공천사침적Al참잡ZnO박막,즉ZnO:Al투명도전박막,연구Zn파천사공솔(0～90 W)화츤저온도(실온、100℃화200℃)대박막결구、형모、광학화전학성능적영향.결과표명:안쌍파공천사공예제비적ZnO:Al박막적정체결구균위륙각섬자광결구,차수착Zn파천사공솔적증가,박막적결정질량정현출선개선후변차적규률,박막중적재류자농도축점승고,전조솔축점강저,이박막적광학성능수기영향불대:수착츤저온도적승고,박막적결정성능득도개선,박막적가견광투과솔증강,전조솔강저.
