新型MEMS氨气传感器的测试
신형MEMS안기전감기적측시
Test of New Type MEMS Ammonia Sensitive Sensor
  • 万方数据
    测试技术学报 측시기술학보
    JOURNAL OF TEST AND MEASUREMENT TECHNOLOGY
    2004年 z3期 19-21 ,共3页

    王灵婕%陈盛%林吉申

    왕령첩%진성%림길신

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    本文主要论述了新型MEMS氨气传感器的性能测试.研究氨气浓度、工作温度与阈值电压的变化关系、传感器的热稳定性和气体选择性能的测试,以及应用微处理器,采用人工自动校正法对测量系统进行校准.
    본문주요논술료신형MEMS안기전감기적성능측시.연구안기농도、공작온도여역치전압적변화관계、전감기적열은정성화기체선택성능적측시,이급응용미처리기,채용인공자동교정법대측량계통진행교준.
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