表面技术
錶麵技術
표면기술
SURFACE TECHNOLOGY
2006年
6期
5-7
,共3页
郭爱波%刘玉萍%陈枫%李斌%但敏%刘明海%胡希伟
郭愛波%劉玉萍%陳楓%李斌%但敏%劉明海%鬍希偉
곽애파%류옥평%진풍%리빈%단민%류명해%호희위
等离子体增强%化学气相沉积%SEM%EDAX%XPS%衬底
等離子體增彊%化學氣相沉積%SEM%EDAX%XPS%襯底
등리자체증강%화학기상침적%SEM%EDAX%XPS%츤저
鉴于ZnO薄膜材料的多功能性,用等离子体增强化学气相沉积方法在金属Cu和普通玻璃上生长了ZnO薄膜.扫描电子显微镜获得其表面形貌;能谱分析获得其元素种类及相对含量,在能谱图上明显地观察到了Zn峰和O峰的存在,且Cu基上Zn和O原子比接近1∶ 1;X射线光电子能谱分析得出样品中的Zn和O全部以化合态存在而不存在Zn原子和O原子.但Cu基上的ZnO薄膜易吸收空气中的氧和水蒸汽,薄膜质量期望通过生长合适过渡层得到改善.
鑒于ZnO薄膜材料的多功能性,用等離子體增彊化學氣相沉積方法在金屬Cu和普通玻璃上生長瞭ZnO薄膜.掃描電子顯微鏡穫得其錶麵形貌;能譜分析穫得其元素種類及相對含量,在能譜圖上明顯地觀察到瞭Zn峰和O峰的存在,且Cu基上Zn和O原子比接近1∶ 1;X射線光電子能譜分析得齣樣品中的Zn和O全部以化閤態存在而不存在Zn原子和O原子.但Cu基上的ZnO薄膜易吸收空氣中的氧和水蒸汽,薄膜質量期望通過生長閤適過渡層得到改善.
감우ZnO박막재료적다공능성,용등리자체증강화학기상침적방법재금속Cu화보통파리상생장료ZnO박막.소묘전자현미경획득기표면형모;능보분석획득기원소충류급상대함량,재능보도상명현지관찰도료Zn봉화O봉적존재,차Cu기상Zn화O원자비접근1∶ 1;X사선광전자능보분석득출양품중적Zn화O전부이화합태존재이불존재Zn원자화O원자.단Cu기상적ZnO박막역흡수공기중적양화수증기,박막질량기망통과생장합괄과도층득도개선.
