真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2006年
5期
385-391
,共7页
林益梅%叶志镇%陈兰兰%朱丽萍%黄靖云
林益梅%葉誌鎮%陳蘭蘭%硃麗萍%黃靖雲
림익매%협지진%진란란%주려평%황정운
ZnO薄膜%点缺陷%位错%堆垛层错
ZnO薄膜%點缺陷%位錯%堆垛層錯
ZnO박막%점결함%위착%퇴타층착
ZnO是一种新型的Ⅱ-Ⅵ族半导体材料,具有许多优异的性能,可望成为新一代光电材料.但由于ZnO存在许多缺陷从而对它的各种性能产生了不良影响.比如点缺陷会影响ZnO的p型制备,Vo可能导致ZnO薄膜产生绿光;线缺陷可能成为载流子陷阱中心和复合中心,影响薄膜器件性能;层错会影响薄膜的能带结构从而影响其光电性能.为制备良好可靠的ZnO薄膜从而实现ZnO光电器件,必须研究ZnO薄膜的缺陷特性,文章对此进行了详细阐述.
ZnO是一種新型的Ⅱ-Ⅵ族半導體材料,具有許多優異的性能,可望成為新一代光電材料.但由于ZnO存在許多缺陷從而對它的各種性能產生瞭不良影響.比如點缺陷會影響ZnO的p型製備,Vo可能導緻ZnO薄膜產生綠光;線缺陷可能成為載流子陷阱中心和複閤中心,影響薄膜器件性能;層錯會影響薄膜的能帶結構從而影響其光電性能.為製備良好可靠的ZnO薄膜從而實現ZnO光電器件,必鬚研究ZnO薄膜的缺陷特性,文章對此進行瞭詳細闡述.
ZnO시일충신형적Ⅱ-Ⅵ족반도체재료,구유허다우이적성능,가망성위신일대광전재료.단유우ZnO존재허다결함종이대타적각충성능산생료불량영향.비여점결함회영향ZnO적p형제비,Vo가능도치ZnO박막산생록광;선결함가능성위재류자함정중심화복합중심,영향박막기건성능;층착회영향박막적능대결구종이영향기광전성능.위제비량호가고적ZnO박막종이실현ZnO광전기건,필수연구ZnO박막적결함특성,문장대차진행료상세천술.
