气相传输平衡技术制备LiGaO2薄膜
기상전수평형기술제비LiGaO2박막
LiGaO2 Layers Fabricated by Vapor Transport Equilibration
  • 万方数据
    光学学报 광학학보
    ACTA OPTICA SINICA
    2006年 9期 1424-1428 ,共5页

    张俊刚%夏长泰%吴锋%裴广庆%李抒智%徐军%周圣明%邓群%徐悟生%史宏声

    장준강%하장태%오봉%배엄경%리서지%서군%주골명%산군%서오생%사굉성

    薄膜光学%复合衬底%GaN外延膜%气相传输平衡技术%β-Ga2O3单晶%LiGaO2薄膜%色心 薄膜光學%複閤襯底%GaN外延膜%氣相傳輸平衡技術%β-Ga2O3單晶%LiGaO2薄膜%色心
    박막광학%복합츤저%GaN외연막%기상전수평형기술%β-Ga2O3단정%LiGaO2박막%색심
    为获得与GaN薄膜晶格失配小的衬底材料,报道了利用气相传输平衡技术(VTE)在(100)β-Ga2O3单晶衬底上制备高度[001]取向LiGaO2薄膜的方法.经过X射线衍射分析表明得到的薄膜是由单相LiGaO2组成.利用扫描电镜(SEM)观察表面形貌,发现经气相传输平衡技术处理得到的薄膜表面形貌主要受温度的影响,表面晶粒尺寸随温度上升而增大.而X射线衍射测试表明随着温度上升,所得到的薄膜也从多晶向单晶化转变.在经过退火处理后,通过观察吸收谱发现LiGaO2薄膜中产生色心,并且色心的种类与温度有关.表明可以通过气相传输平衡技术技术,在远低于LiGaO2熔点的温度制备外延GaN用(001)LiGaO2//(100)β-Ga2O3复合衬底.
    위획득여GaN박막정격실배소적츤저재료,보도료이용기상전수평형기술(VTE)재(100)β-Ga2O3단정츤저상제비고도[001]취향LiGaO2박막적방법.경과X사선연사분석표명득도적박막시유단상LiGaO2조성.이용소묘전경(SEM)관찰표면형모,발현경기상전수평형기술처리득도적박막표면형모주요수온도적영향,표면정립척촌수온도상승이증대.이X사선연사측시표명수착온도상승,소득도적박막야종다정향단정화전변.재경과퇴화처리후,통과관찰흡수보발현LiGaO2박막중산생색심,병차색심적충류여온도유관.표명가이통과기상전수평형기술기술,재원저우LiGaO2용점적온도제비외연GaN용(001)LiGaO2//(100)β-Ga2O3복합츤저.
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