半导体技术
半導體技術
반도체기술
SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
2007年
4期
320-323,338
,共5页
李秀宇%吴月花%李志国%郭春生%刘朋飞%朱春节
李秀宇%吳月花%李誌國%郭春生%劉朋飛%硃春節
리수우%오월화%리지국%곽춘생%류붕비%주춘절
互连线%蓄水池效应%电迁移
互連線%蓄水池效應%電遷移
호련선%축수지효응%전천이
对于W通孔多层金属化系统来说,金属离子蓄水池效应对其电迁移寿命的影响很大.设计了12种不同的蓄水池结构,并进行电迁移实验;考察了蓄水池面积、通孔位置、数目及大小等对互连线的电迁移寿命的影响,得出蓄水池的面积是影响电迁移寿命的主要因素.
對于W通孔多層金屬化繫統來說,金屬離子蓄水池效應對其電遷移壽命的影響很大.設計瞭12種不同的蓄水池結構,併進行電遷移實驗;攷察瞭蓄水池麵積、通孔位置、數目及大小等對互連線的電遷移壽命的影響,得齣蓄水池的麵積是影響電遷移壽命的主要因素.
대우W통공다층금속화계통래설,금속리자축수지효응대기전천이수명적영향흔대.설계료12충불동적축수지결구,병진행전천이실험;고찰료축수지면적、통공위치、수목급대소등대호련선적전천이수명적영향,득출축수지적면적시영향전천이수명적주요인소.
