南昌大学学报（理科版）
南昌大學學報（理科版）
남창대학학보（이과판）
JOURNAL OF NANCHANG UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2008年
1期
34-37
,共4页
毛文行%邓太平%杜国平%周浪
毛文行%鄧太平%杜國平%週浪
모문행%산태평%두국평%주랑
多晶硅%夹杂%SiC
多晶硅%夾雜%SiC
다정규%협잡%SiC
多晶硅锭中常出现的硬质夹杂是造成硅片线切割生产中断线的主要原因之一,同时影响到太阳能电池片的质量.我们采用扫描电镜-特征X射线能谱仪、3D数码显微镜、傅立叶红外光谱等手段对定向凝固多晶硅断面、抛光面、溶解沉淀以及硅片中的游离碳含量进行了分析.结果表明,硅锭顶表层出现大量SiC和Si3N4夹杂,其数量随深度迅速减小;硅锭内部SiC十分稀少,尺寸也一般很小,但有时会出现大颗粒(～100 μm).硅片中游离碳含量远低于形成SiC所需临界平衡C浓度.就以上结果对SiC形成原因进行了讨论,并提出了减少SiC夹杂的建议措施.
多晶硅錠中常齣現的硬質夾雜是造成硅片線切割生產中斷線的主要原因之一,同時影響到太暘能電池片的質量.我們採用掃描電鏡-特徵X射線能譜儀、3D數碼顯微鏡、傅立葉紅外光譜等手段對定嚮凝固多晶硅斷麵、拋光麵、溶解沉澱以及硅片中的遊離碳含量進行瞭分析.結果錶明,硅錠頂錶層齣現大量SiC和Si3N4夾雜,其數量隨深度迅速減小;硅錠內部SiC十分稀少,呎吋也一般很小,但有時會齣現大顆粒(～100 μm).硅片中遊離碳含量遠低于形成SiC所需臨界平衡C濃度.就以上結果對SiC形成原因進行瞭討論,併提齣瞭減少SiC夾雜的建議措施.
다정규정중상출현적경질협잡시조성규편선절할생산중단선적주요원인지일,동시영향도태양능전지편적질량.아문채용소묘전경-특정X사선능보의、3D수마현미경、부립협홍외광보등수단대정향응고다정규단면、포광면、용해침정이급규편중적유리탄함량진행료분석.결과표명,규정정표층출현대량SiC화Si3N4협잡,기수량수심도신속감소;규정내부SiC십분희소,척촌야일반흔소,단유시회출현대과립(～100 μm).규편중유리탄함량원저우형성SiC소수림계평형C농도.취이상결과대SiC형성원인진행료토론,병제출료감소SiC협잡적건의조시.
