计量学报
計量學報
계량학보
ACTA METROLOGICA SINICA
2008年
z1期
27-30
,共4页
计量学%一等量块%干涉条纹小数%暗条纹中心%测量定位
計量學%一等量塊%榦涉條紋小數%暗條紋中心%測量定位
계량학%일등량괴%간섭조문소수%암조문중심%측량정위
对高精度干涉条纹小数测量的方法进行了系统的介绍.就干涉条纹小数的定义、暗条纹中心的确定、量块中心长度测量的起始和终了位置进行了较全面的分析,实现了不确定度为2 nm的干涉条纹小数的测量.引用实验与国际比对结果理论分析予以验证.
對高精度榦涉條紋小數測量的方法進行瞭繫統的介紹.就榦涉條紋小數的定義、暗條紋中心的確定、量塊中心長度測量的起始和終瞭位置進行瞭較全麵的分析,實現瞭不確定度為2 nm的榦涉條紋小數的測量.引用實驗與國際比對結果理論分析予以驗證.
대고정도간섭조문소수측량적방법진행료계통적개소.취간섭조문소수적정의、암조문중심적학정、량괴중심장도측량적기시화종료위치진행료교전면적분석,실현료불학정도위2 nm적간섭조문소수적측량.인용실험여국제비대결과이론분석여이험증.
