电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2009年
8期
20-22,45
,共4页
多线切割%锗单晶%砂浆
多線切割%鍺單晶%砂漿
다선절할%타단정%사장
多线切割机是一种将晶棒切割成晶片的设备,近年来得到大规模使用,其切割原理为利用高速运动的切割钢线将砂浆带入切割区,砂浆中的坚硬颗粒(主要为SiC)与晶棒进行磨削,进而起到切割作用.根据锗材料的特殊性,通过改变工艺参数(主轴平均转速,砂浆流量,砂浆供给方式等)与硅材料成熟切割工艺进行对比实验,进而稳定锗材料的切割工艺.
多線切割機是一種將晶棒切割成晶片的設備,近年來得到大規模使用,其切割原理為利用高速運動的切割鋼線將砂漿帶入切割區,砂漿中的堅硬顆粒(主要為SiC)與晶棒進行磨削,進而起到切割作用.根據鍺材料的特殊性,通過改變工藝參數(主軸平均轉速,砂漿流量,砂漿供給方式等)與硅材料成熟切割工藝進行對比實驗,進而穩定鍺材料的切割工藝.
다선절할궤시일충장정봉절할성정편적설비,근년래득도대규모사용,기절할원리위이용고속운동적절할강선장사장대입절할구,사장중적견경과립(주요위SiC)여정봉진행마삭,진이기도절할작용.근거타재료적특수성,통과개변공예삼수(주축평균전속,사장류량,사장공급방식등)여규재료성숙절할공예진행대비실험,진이은정타재료적절할공예.
