稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2010年
7期
1251-1255
,共5页
王雪敏%吴卫东%李盛印%陈松林%唐永建%白黎%王海平
王雪敏%吳衛東%李盛印%陳鬆林%唐永建%白黎%王海平
왕설민%오위동%리성인%진송림%당영건%백려%왕해평
脉冲激光气相沉积%类金刚石薄膜%硬度
脈遲激光氣相沉積%類金剛石薄膜%硬度
맥충격광기상침적%류금강석박막%경도
采用氟化氪(KrF)脉冲准分子激光烧蚀沉积(PLD)技术,在硅基体表面制备不同掺W时间的类金刚石薄膜(W-DLC).利用AFM、XRD、Raman、纳米压痕等手段分析和研究薄膜的表面形貌、结构以及部分性能.结果表明:W掺入后形成了α-W2C和WC相,并且没有明显改变薄膜中sp2和sp3键的含量,薄膜的表面粗糙度基本不受W掺入时间的影响,残余应力降低约1个数量级(二十几个GPa下降到几个GPa),硬度和弹性模量随W掺入时间的增加而逐渐降低.
採用氟化氪(KrF)脈遲準分子激光燒蝕沉積(PLD)技術,在硅基體錶麵製備不同摻W時間的類金剛石薄膜(W-DLC).利用AFM、XRD、Raman、納米壓痕等手段分析和研究薄膜的錶麵形貌、結構以及部分性能.結果錶明:W摻入後形成瞭α-W2C和WC相,併且沒有明顯改變薄膜中sp2和sp3鍵的含量,薄膜的錶麵粗糙度基本不受W摻入時間的影響,殘餘應力降低約1箇數量級(二十幾箇GPa下降到幾箇GPa),硬度和彈性模量隨W摻入時間的增加而逐漸降低.
채용불화극(KrF)맥충준분자격광소식침적(PLD)기술,재규기체표면제비불동참W시간적류금강석박막(W-DLC).이용AFM、XRD、Raman、납미압흔등수단분석화연구박막적표면형모、결구이급부분성능.결과표명:W참입후형성료α-W2C화WC상,병차몰유명현개변박막중sp2화sp3건적함량,박막적표면조조도기본불수W참입시간적영향,잔여응력강저약1개수량급(이십궤개GPa하강도궤개GPa),경도화탄성모량수W참입시간적증가이축점강저.
