CAJ | 학술논문

在分析了硅基上金属线圈的串联电阻、金属层厚度等在低频和高频的情况下对Q的影响及原因的基础上,提出了一种在硅杯表面采用浓硼扩散区与镀金属膜形成的欧姆接触电极作为内引线的硅基电感的新制造方法.设计了硅基电感的版图尺寸和相关的工艺流程,用IntelliSuite软件模拟验证了工艺流程的可能性,再利用Ansys有限元软件中的电磁分析模块模拟了电流与磁感应强度的关系、衬底涡流分布等,为平面电感的理论与实验的进一步比较分析提供了μm的衬底,从而可以使衬底中的涡流大幅度减少、电感的Q值得到很大提高.此外,提出的新制造方法采用了绝缘性能比SiO2好的Al2O3薄膜作为电感线圈与衬底之间的绝缘层.结果表明,设计的平面螺旋电感具有制造工艺简单、与IC工艺相兼容的优点,有广泛的应用前景.
재분석료규기상금속선권적천련전조、금속층후도등재저빈화고빈적정황하대Q적영향급원인적기출상,제출료일충재규배표면채용농붕확산구여도금속막형성적구모접촉전겁작위내인선적규기전감적신제조방법.설계료규기전감적판도척촌화상관적공예류정,용IntelliSuite연건모의험증료공예류정적가능성,재이용Ansys유한원연건중적전자분석모괴모의료전류여자감응강도적관계、츤저와류분포등,위평면전감적이론여실험적진일보비교분석제공료μm적츤저,종이가이사츤저중적와류대폭도감소、전감적Q치득도흔대제고.차외,제출적신제조방법채용료절연성능비SiO2호적Al2O3박막작위전감선권여츤저지간적절연층.결과표명,설계적평면라선전감구유제조공예간단、여IC공예상겸용적우점,유엄범적응용전경.