自动化与仪表
自動化與儀錶
자동화여의표
AUTOMATION AND INSTRUMENTATION
2011年
2期
1-3,16
,共4页
刘正%严英占%刘俊%闫树斌
劉正%嚴英佔%劉俊%閆樹斌
류정%엄영점%류준%염수빈
位移传感器%环形谐振腔%光波导%微光机电系统
位移傳感器%環形諧振腔%光波導%微光機電繫統
위이전감기%배형해진강%광파도%미광궤전계통
该MOEMS微位移传感器是一种基于光波导环形谐振腔的悬臂梁式传感器,通过一系列的微加工技术集成制造在SOI材料上.光学微腔是一种新型的光学谐振腔,当其在回音廊模式下(WGM)共振时可以检测到规则的透射谱图,该传感器通过测量透射谱的偏移来确定位移量.利用有限元分析法可以得到悬臂粱结构的最佳尺寸参数,利用时域有限差分方法(FDTD)可以得到环形腔投射谱的偏移特性.当使用跑道型谐振腔时,该新型传感器最高可以探测到10nm左右的位移量.
該MOEMS微位移傳感器是一種基于光波導環形諧振腔的懸臂樑式傳感器,通過一繫列的微加工技術集成製造在SOI材料上.光學微腔是一種新型的光學諧振腔,噹其在迴音廊模式下(WGM)共振時可以檢測到規則的透射譜圖,該傳感器通過測量透射譜的偏移來確定位移量.利用有限元分析法可以得到懸臂粱結構的最佳呎吋參數,利用時域有限差分方法(FDTD)可以得到環形腔投射譜的偏移特性.噹使用跑道型諧振腔時,該新型傳感器最高可以探測到10nm左右的位移量.
해MOEMS미위이전감기시일충기우광파도배형해진강적현비량식전감기,통과일계렬적미가공기술집성제조재SOI재료상.광학미강시일충신형적광학해진강,당기재회음랑모식하(WGM)공진시가이검측도규칙적투사보도,해전감기통과측량투사보적편이래학정위이량.이용유한원분석법가이득도현비량결구적최가척촌삼수,이용시역유한차분방법(FDTD)가이득도배형강투사보적편이특성.당사용포도형해진강시,해신형전감기최고가이탐측도10nm좌우적위이량.
