实验室研究与探索
實驗室研究與探索
실험실연구여탐색
LAABORATORY REESEARCH AND EXPLORATION
2011年
9期
8-11
,共4页
金清理%黄晓虹%张栋%王振国%颜利芬
金清理%黃曉虹%張棟%王振國%顏利芬
금청리%황효홍%장동%왕진국%안리분
光学多道分析器%二合一光纤束探头%薄膜厚度%等厚干涉原理%干涉相消波长
光學多道分析器%二閤一光纖束探頭%薄膜厚度%等厚榦涉原理%榦涉相消波長
광학다도분석기%이합일광섬속탐두%박막후도%등후간섭원리%간섭상소파장
为了实时监测光学薄膜的厚度,设计和制作了一款照明和采集干涉图谱为一体的石英光纤束探头,基于光学多道分析器、白色LED光源和计算机等设备组成,实现高精度监测薄膜厚度的测量系统.以薄膜等厚干涉原理为依据,分析了干涉相消波长测量薄膜厚度的原理与可行性.用汞灯标准谱线对光学多道分析器进行定标,通过自制的石英光纤束探头照明和采集干涉图谱,经光学多道分析器与计算机处理获得薄膜反射干涉相消光波长,计算得到光学薄膜厚度.测量系统通过对手机屏幕贴膜和不干胶薄膜样品的涂层厚度测试,可以监测纳米量级的薄膜厚度.
為瞭實時鑑測光學薄膜的厚度,設計和製作瞭一款照明和採集榦涉圖譜為一體的石英光纖束探頭,基于光學多道分析器、白色LED光源和計算機等設備組成,實現高精度鑑測薄膜厚度的測量繫統.以薄膜等厚榦涉原理為依據,分析瞭榦涉相消波長測量薄膜厚度的原理與可行性.用汞燈標準譜線對光學多道分析器進行定標,通過自製的石英光纖束探頭照明和採集榦涉圖譜,經光學多道分析器與計算機處理穫得薄膜反射榦涉相消光波長,計算得到光學薄膜厚度.測量繫統通過對手機屏幕貼膜和不榦膠薄膜樣品的塗層厚度測試,可以鑑測納米量級的薄膜厚度.
위료실시감측광학박막적후도,설계화제작료일관조명화채집간섭도보위일체적석영광섬속탐두,기우광학다도분석기、백색LED광원화계산궤등설비조성,실현고정도감측박막후도적측량계통.이박막등후간섭원리위의거,분석료간섭상소파장측량박막후도적원리여가행성.용홍등표준보선대광학다도분석기진행정표,통과자제적석영광섬속탐두조명화채집간섭도보,경광학다도분석기여계산궤처리획득박막반사간섭상소광파장,계산득도광학박막후도.측량계통통과대수궤병막첩막화불간효박막양품적도층후도측시,가이감측납미량급적박막후도.
