高压物理学报
高壓物理學報
고압물이학보
CHINESE JOURNAL OF HIGH PRESSURE PHYSICS
2004年
1期
90-93
,共4页
滕林%杨邦朝%杜晓松%周鸿仁%崔红玲%肖庆国
滕林%楊邦朝%杜曉鬆%週鴻仁%崔紅玲%肖慶國
등림%양방조%두효송%주홍인%최홍령%초경국
镱薄膜%传感器%准静态加载%压阻系数%热处理%XRD谱
鐿薄膜%傳感器%準靜態加載%壓阻繫數%熱處理%XRD譜
의박막%전감기%준정태가재%압조계수%열처리%XRD보
采用真空蒸发工艺制备镱薄膜传感器,在小于1 GPa压力范围内对未经任何处理和300 ℃真空热处理1 h两组镱薄膜传感器进行准静态加载标定,后者的压阻系数明显高于前者,并且大于箔式镱传感器的压阻系数,结合扫描电镜和电学性能测试分析,发现热处理有助于薄膜晶粒长大,降低薄膜电阻率,从而提高了镱薄膜传感器的压阻灵敏度.XRD测试分析结果表明,加压有促使薄膜晶粒长大的趋势.镱薄膜传感器制作工艺简单、性能稳定,在工业中具有广泛的用途.
採用真空蒸髮工藝製備鐿薄膜傳感器,在小于1 GPa壓力範圍內對未經任何處理和300 ℃真空熱處理1 h兩組鐿薄膜傳感器進行準靜態加載標定,後者的壓阻繫數明顯高于前者,併且大于箔式鐿傳感器的壓阻繫數,結閤掃描電鏡和電學性能測試分析,髮現熱處理有助于薄膜晶粒長大,降低薄膜電阻率,從而提高瞭鐿薄膜傳感器的壓阻靈敏度.XRD測試分析結果錶明,加壓有促使薄膜晶粒長大的趨勢.鐿薄膜傳感器製作工藝簡單、性能穩定,在工業中具有廣汎的用途.
채용진공증발공예제비의박막전감기,재소우1 GPa압력범위내대미경임하처리화300 ℃진공열처리1 h량조의박막전감기진행준정태가재표정,후자적압조계수명현고우전자,병차대우박식의전감기적압조계수,결합소묘전경화전학성능측시분석,발현열처리유조우박막정립장대,강저박막전조솔,종이제고료의박막전감기적압조령민도.XRD측시분석결과표명,가압유촉사박막정립장대적추세.의박막전감기제작공예간단、성능은정,재공업중구유엄범적용도.
