基于ANSYS悬臂式RF MEMS开关的力学模拟和疲劳分析
기우ANSYS현비식RF MEMS개관적역학모의화피로분석
Simulation and Fatigue Analysis of MEMS RF Cantilevered Beam Switch
  • 万方数据
    半导体技术 반도체기술
    SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
    2004年 10期 22-26 ,共5页

    李成诗%郭方敏%赖宗声%葛羽屏%徐欣%朱自强%陆卫

    리성시%곽방민%뢰종성%갈우병%서흔%주자강%륙위

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    RF MEMS%ANSYS%력전우합분석%피로분석
    用ANSYS软件对RF MEMS接触悬臂开关模型进行力电耦合分析,比较了几种情况下的驱动电压,讨论了驱动电压与杨氏模量、悬梁的几何尺寸和电极面积的关系.在力电耦合分析的基础上对开关进行了疲劳特性分析,得出了开关的循环使用次数并与实验结果进行了比较,分析了数据差别比较大的原因,改进了测试开关寿命的方法.
    용ANSYS연건대RF MEMS접촉현비개관모형진행력전우합분석,비교료궤충정황하적구동전압,토론료구동전압여양씨모량、현량적궤하척촌화전겁면적적관계.재력전우합분석적기출상대개관진행료피로특성분석,득출료개관적순배사용차수병여실험결과진행료비교,분석료수거차별비교대적원인,개진료측시개관수명적방법.
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