强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2005年
1期
9-12
,共4页
张东平%赵元安%范树海%高卫东%邵建达%范正修
張東平%趙元安%範樹海%高衛東%邵建達%範正脩
장동평%조원안%범수해%고위동%소건체%범정수
ZrO2薄膜%氧分压%激光损伤阈值%电子束热蒸发
ZrO2薄膜%氧分壓%激光損傷閾值%電子束熱蒸髮
ZrO2박막%양분압%격광손상역치%전자속열증발
在不同的氧分压下用电子束热蒸发的方法制备了ZrO2薄膜.分别通过X射线衍射、光学光谱、热透镜技术、抗激光辐照等测试,对所制备样品的微结构、折射率、吸收率及激光损伤阈值进行了测量.实验结果表明,薄膜中晶粒主要是四方相为主的多晶结构,并且随着氧分压的增加,结晶度、折射率以及弱吸收均逐渐降低.薄膜的激光损伤阈值开始随着氧分压增加从18.5 J/cm2逐渐增加,氧分压为9×10-3Pa时达到最大,值为26.7 J/cm2,氧分压再增加时则又降低到17.5 J/cm2.由此可见,氧分压引起的薄膜微结构变化是ZrO2薄膜激光损伤阈值变化的主要原因.
在不同的氧分壓下用電子束熱蒸髮的方法製備瞭ZrO2薄膜.分彆通過X射線衍射、光學光譜、熱透鏡技術、抗激光輻照等測試,對所製備樣品的微結構、摺射率、吸收率及激光損傷閾值進行瞭測量.實驗結果錶明,薄膜中晶粒主要是四方相為主的多晶結構,併且隨著氧分壓的增加,結晶度、摺射率以及弱吸收均逐漸降低.薄膜的激光損傷閾值開始隨著氧分壓增加從18.5 J/cm2逐漸增加,氧分壓為9×10-3Pa時達到最大,值為26.7 J/cm2,氧分壓再增加時則又降低到17.5 J/cm2.由此可見,氧分壓引起的薄膜微結構變化是ZrO2薄膜激光損傷閾值變化的主要原因.
재불동적양분압하용전자속열증발적방법제비료ZrO2박막.분별통과X사선연사、광학광보、열투경기술、항격광복조등측시,대소제비양품적미결구、절사솔、흡수솔급격광손상역치진행료측량.실험결과표명,박막중정립주요시사방상위주적다정결구,병차수착양분압적증가,결정도、절사솔이급약흡수균축점강저.박막적격광손상역치개시수착양분압증가종18.5 J/cm2축점증가,양분압위9×10-3Pa시체도최대,치위26.7 J/cm2,양분압재증가시칙우강저도17.5 J/cm2.유차가견,양분압인기적박막미결구변화시ZrO2박막격광손상역치변화적주요원인.
