真空
真空
진공
VACUUM
2006年
6期
11-14
,共4页
余志明%伍水平%魏秋平%牛仕超%彭传才%李京增%魏敏
餘誌明%伍水平%魏鞦平%牛仕超%彭傳纔%李京增%魏敏
여지명%오수평%위추평%우사초%팽전재%리경증%위민
ZAO薄膜%氧分压%直流磁控溅射%电阻率%透过率
ZAO薄膜%氧分壓%直流磁控濺射%電阻率%透過率
ZAO박막%양분압%직류자공천사%전조솔%투과솔
利用直流磁控溅射法在玻璃衬底上制备了ZnO:Al(ZAO)透明导电薄膜.详细研究了沉积时的基片温度、氧分压强对膜的透光率和电阻率的影响.结果表明: ZAO薄膜具有六角纤锌矿结构且呈c轴择优取向,晶粒垂直于衬底方向柱状生长;衬底温度和氧分压对薄膜的电阻率有很大影响;基底温度对薄膜的可见光透过率影响不大,但随氧分压的增大而增大;在衬底温度为250℃、氧分压为1%时,薄膜有最优化的电阻率和平均透光率,分别达到8.35×10-4Ω·cm和85.2%.
利用直流磁控濺射法在玻璃襯底上製備瞭ZnO:Al(ZAO)透明導電薄膜.詳細研究瞭沉積時的基片溫度、氧分壓彊對膜的透光率和電阻率的影響.結果錶明: ZAO薄膜具有六角纖鋅礦結構且呈c軸擇優取嚮,晶粒垂直于襯底方嚮柱狀生長;襯底溫度和氧分壓對薄膜的電阻率有很大影響;基底溫度對薄膜的可見光透過率影響不大,但隨氧分壓的增大而增大;在襯底溫度為250℃、氧分壓為1%時,薄膜有最優化的電阻率和平均透光率,分彆達到8.35×10-4Ω·cm和85.2%.
이용직류자공천사법재파리츤저상제비료ZnO:Al(ZAO)투명도전박막.상세연구료침적시적기편온도、양분압강대막적투광솔화전조솔적영향.결과표명: ZAO박막구유륙각섬자광결구차정c축택우취향,정립수직우츤저방향주상생장;츤저온도화양분압대박막적전조솔유흔대영향;기저온도대박막적가견광투과솔영향불대,단수양분압적증대이증대;재츤저온도위250℃、양분압위1%시,박막유최우화적전조솔화평균투광솔,분별체도8.35×10-4Ω·cm화85.2%.
