电加工与模具
電加工與模具
전가공여모구
ELECTROMACHINING & MOULD
2007年
1期
6-9,33
,共5页
微细群电极%LIGA%电火花加工%封装
微細群電極%LIGA%電火花加工%封裝
미세군전겁%LIGA%전화화가공%봉장
介绍了微细群电极的应用情况,分别给出了LIGA方法、电火花超声复合反拷加工法和电火花线切割加工法制作群电极的工作原理,并对这些工艺的特点进行了归纳,给出了具有代表性的加工实例,最后介绍了微细群电极的封装技术.
介紹瞭微細群電極的應用情況,分彆給齣瞭LIGA方法、電火花超聲複閤反拷加工法和電火花線切割加工法製作群電極的工作原理,併對這些工藝的特點進行瞭歸納,給齣瞭具有代錶性的加工實例,最後介紹瞭微細群電極的封裝技術.
개소료미세군전겁적응용정황,분별급출료LIGA방법、전화화초성복합반고가공법화전화화선절할가공법제작군전겁적공작원리,병대저사공예적특점진행료귀납,급출료구유대표성적가공실례,최후개소료미세군전겁적봉장기술.
