人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2009年
1期
16-20
,共5页
刘伟%苏小平%张树玉%闫兰琴%王宏斌%刘嘉禾
劉偉%囌小平%張樹玉%閆蘭琴%王宏斌%劉嘉禾
류위%소소평%장수옥%염란금%왕굉빈%류가화
氮氧化铪薄膜%射频磁控反应溅射%晶体结构%显微结构%力学性能
氮氧化鉿薄膜%射頻磁控反應濺射%晶體結構%顯微結構%力學性能
담양화협박막%사빈자공반응천사%정체결구%현미결구%역학성능
采用射频磁控反应溅射法在不同氧分压条件下制备了氮氧化铪薄膜,薄膜沉积过程在氧气、氮气和氩气的混合气氛中进行,所用衬底为多光谱硫化锌材料.用X射线衍射、扫描电子显微镜、纳米硬度计等分别研究了不同氧分压条件下HfOxNy薄膜的晶体结构、显微结构、力学性能等.结果表明:在氧分压为0.05～0.30范围内,HfOxNy薄膜都为多晶结构,但随着氧分压的降低,HfOxNy薄膜的沉积速率逐渐增大,薄膜的晶体结构由单斜氧化铪转变为氮氧化铪相;不同氧分压下沉积的HfOxNy薄膜都符合薄膜区域结构模型中典型的柱状结构且氧分压较低时薄膜表面粗糙度较大;不同氧分压条件下沉积的HfOxNy薄膜硬度和弹性模量都远大于衬底硫化锌的硬度和弹性模量,氧分压为0.15时最大硬度和弹性模量值分别为11.6 GPa和160 GPa.
採用射頻磁控反應濺射法在不同氧分壓條件下製備瞭氮氧化鉿薄膜,薄膜沉積過程在氧氣、氮氣和氬氣的混閤氣氛中進行,所用襯底為多光譜硫化鋅材料.用X射線衍射、掃描電子顯微鏡、納米硬度計等分彆研究瞭不同氧分壓條件下HfOxNy薄膜的晶體結構、顯微結構、力學性能等.結果錶明:在氧分壓為0.05～0.30範圍內,HfOxNy薄膜都為多晶結構,但隨著氧分壓的降低,HfOxNy薄膜的沉積速率逐漸增大,薄膜的晶體結構由單斜氧化鉿轉變為氮氧化鉿相;不同氧分壓下沉積的HfOxNy薄膜都符閤薄膜區域結構模型中典型的柱狀結構且氧分壓較低時薄膜錶麵粗糙度較大;不同氧分壓條件下沉積的HfOxNy薄膜硬度和彈性模量都遠大于襯底硫化鋅的硬度和彈性模量,氧分壓為0.15時最大硬度和彈性模量值分彆為11.6 GPa和160 GPa.
채용사빈자공반응천사법재불동양분압조건하제비료담양화협박막,박막침적과정재양기、담기화아기적혼합기분중진행,소용츤저위다광보류화자재료.용X사선연사、소묘전자현미경、납미경도계등분별연구료불동양분압조건하HfOxNy박막적정체결구、현미결구、역학성능등.결과표명:재양분압위0.05～0.30범위내,HfOxNy박막도위다정결구,단수착양분압적강저,HfOxNy박막적침적속솔축점증대,박막적정체결구유단사양화협전변위담양화협상;불동양분압하침적적HfOxNy박막도부합박막구역결구모형중전형적주상결구차양분압교저시박막표면조조도교대;불동양분압조건하침적적HfOxNy박막경도화탄성모량도원대우츤저류화자적경도화탄성모량,양분압위0.15시최대경도화탄성모량치분별위11.6 GPa화160 GPa.
