山东科学
山東科學
산동과학
SHANDONG SCIENCE
2010年
1期
28-31,63
,共5页
刘文军%薛成山%石锋%庄惠照%郭永福
劉文軍%薛成山%石鋒%莊惠照%郭永福
류문군%설성산%석봉%장혜조%곽영복
GaN纳米条%Mn%磁控溅射%纳米结构
GaN納米條%Mn%磁控濺射%納米結構
GaN납미조%Mn%자공천사%납미결구
通过在1000℃下氨化锰掺杂Ga2O3,薄膜制备了大量GaMnN纳米条.采用此法得到的剑状Mn掺杂GaN纳米条是六方纤锌矿结构,Mn的原子百分比是5.43%,纳米条的厚度大约为100nm,宽度为200～400nm.X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、高分辨透射电子显微镜(HRTEM)、选区电子衍射(SAED)、X射线光电子能谱(XPS)和荧光分光光度计(PL)用于表征所制备纳米条形貌及光学性质.室温下以325 nm波长的光激发样品表面,发现由于Mn的掺杂使GaN的发光峰有较大的红移.最后.简单讨论了GaN纳米条的生长机制.
通過在1000℃下氨化錳摻雜Ga2O3,薄膜製備瞭大量GaMnN納米條.採用此法得到的劍狀Mn摻雜GaN納米條是六方纖鋅礦結構,Mn的原子百分比是5.43%,納米條的厚度大約為100nm,寬度為200～400nm.X射線衍射(XRD)、掃描電鏡(SEM)、透射電子顯微鏡(TEM)、高分辨透射電子顯微鏡(HRTEM)、選區電子衍射(SAED)、X射線光電子能譜(XPS)和熒光分光光度計(PL)用于錶徵所製備納米條形貌及光學性質.室溫下以325 nm波長的光激髮樣品錶麵,髮現由于Mn的摻雜使GaN的髮光峰有較大的紅移.最後.簡單討論瞭GaN納米條的生長機製.
통과재1000℃하안화맹참잡Ga2O3,박막제비료대량GaMnN납미조.채용차법득도적검상Mn참잡GaN납미조시륙방섬자광결구,Mn적원자백분비시5.43%,납미조적후도대약위100nm,관도위200～400nm.X사선연사(XRD)、소묘전경(SEM)、투사전자현미경(TEM)、고분변투사전자현미경(HRTEM)、선구전자연사(SAED)、X사선광전자능보(XPS)화형광분광광도계(PL)용우표정소제비납미조형모급광학성질.실온하이325 nm파장적광격발양품표면,발현유우Mn적참잡사GaN적발광봉유교대적홍이.최후.간단토론료GaN납미조적생장궤제.
