硅中氧、碳的二次离子质谱(SIMS)分析
규중양、탄적이차리자질보(SIMS)분석
SIMS analysis of oxygen and carbon concentration in silicon
  • 万方数据
    现代仪器 현대의기
    MODERN INSTRUMENTS
    2010年 2期 40-41,52 ,共3页

    何友琴%马农农%王东雪

    하우금%마농농%왕동설

    硅%相对灵敏度因子%二次离子质谱%定量分析%预溅射 硅%相對靈敏度因子%二次離子質譜%定量分析%預濺射
    규%상대령민도인자%이차리자질보%정량분석%예천사
    本文采用相对灵敏度因子法,对硅中氧、碳含量的SIMS定量分析方法进行研究.通过对样品进行预溅射的方法,氧、碳的的检测限分别可达到6.0e16atoms/cm3、2.0e16atoms/cm3.
    본문채용상대령민도인자법,대규중양、탄함량적SIMS정량분석방법진행연구.통과대양품진행예천사적방법,양、탄적적검측한분별가체도6.0e16atoms/cm3、2.0e16atoms/cm3.
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