光学技术
光學技術
광학기술
OPTICAL TECHNOLOGY
2005年
2期
302-305,308
,共5页
纳米测量%光学干涉仪%自混频干涉%扫描探针显微镜%合成波长
納米測量%光學榦涉儀%自混頻榦涉%掃描探針顯微鏡%閤成波長
납미측량%광학간섭의%자혼빈간섭%소묘탐침현미경%합성파장
介绍了用于大范围高精度纳米测量的方法和当前的发展动态.给出了大范围高精度纳米测量所取得的成果及具体的仪器装置.提出了一种基于合成波长条纹细分原理的新颖的纳米测量方法,在数十毫米的测量范围内,理论上可以达到1/440000的细分系数.
介紹瞭用于大範圍高精度納米測量的方法和噹前的髮展動態.給齣瞭大範圍高精度納米測量所取得的成果及具體的儀器裝置.提齣瞭一種基于閤成波長條紋細分原理的新穎的納米測量方法,在數十毫米的測量範圍內,理論上可以達到1/440000的細分繫數.
개소료용우대범위고정도납미측량적방법화당전적발전동태.급출료대범위고정도납미측량소취득적성과급구체적의기장치.제출료일충기우합성파장조문세분원리적신영적납미측량방법,재수십호미적측량범위내,이론상가이체도1/440000적세분계수.
